پخت - فاکتوری که بر سیستم خلاء تاثیر می گذارد

برای پخت، برای رسیدن به فشار در محدوده خلاء فوق العاده بالا (<> ^-8 hPa)، شرایط زیر باید باشد:

خلاء نهایی پمپ خلاء باید کمتر از 10 برابر فشار نهایی مورد نیاز باشد.

2. مواد مورد استفاده برای محفظه های خلاء و اجزای سازنده باید برای حداقل خروج از گاز استفاده شوند و سطح سطح مورد نیاز را داشته باشند.

3. مهر و موم فلزی (به عنوان مثال اتصالات فلنج CF یا مهر و موم هلیکوفلسکس استاندارد فلنج ISO) باید استفاده شود.

4. تمیز کردن برای خلاء فوق العاده بالا ضروری است. تمام اجزاء قبل از نصب باید کاملا تمیز شوند و هنگام نصب قطعات باید دستکش های گریس را از دست بدهند.

5. تجهیزات و پمپ های خلاء بالا باید پخته شوند.

6. قبل از شروع بخاری باید از نشت ها اجتناب شود و از بین بروند. برای این منظور باید یک آشکارساز نشت هلیوم یا یک طیف سنج جرمی چهار ضلعی استفاده شود.

7. پختن به طور قابل توجهی افزایش میزان جذب و پخش شدن را افزایش می دهد و این باعث می شود که زمان مکش کوتاه باشد. در مرحله نهایی فرآیند تولید، می توان UHV اتاق ها را در دمای 900 درجه سانتی گراد تخریب کرد. دمای پخت بعد ممکن است به 300 درجه سانتیگراد برسد. دستورالعمل تولید کننده پمپ برای بالاترین درجه حرارت پخت بالن پمپ خلاء به طور معمول حداکثر دمای کار را تا 120 درجه سانتیگراد محدود می کند. اگر یک منبع حرارت (به عنوان مثال، حرارت تابشی) در یک دستگاه خلاء استفاده شود، باید از قدرت تابش مجاز مشاهده شود.

8. تجهیزات پس از نصب به بهره برداری می رسد. پس از رسیدن به فشار 10 ^-5 هپا، بخاری را روشن کنید. در طول فرآیند گرمایش، دستگاه خلاء در هر 10 ساعت تحت عمل جراحی قرار گرفت. اگر یک مخزن استیل ضد زنگ و مهر و موم فلزی با درجه درجه مناسب سطح استفاده می شود، درجه حرارت پخت 120 درجه سانتیگراد و زمان گرمایش حدود 48 ساعت برای رسیدن به محدوده فشار 10 ^{-10 ه} PA است.

9. پخت باید ادامه یابد تا 100 برابر فشار نهایی مورد انتظار باشد. سپس پمپ و بخاری خلاء را خاموش کنید. پس از خنک کردن، فشار مطلوب مطلوب به دست می آید. در فشار هایی که کمتر از 5x10 ^-10 هپا است، یک سطح بزرگ داخلی داخلی برای استفاده از یک پمپ مرتبط با گاز (پمپ سولتیمایی تیتانیوم) مفید است که از فرایند هیدروژن از فلز در جریان جریان حجم بالا پمپ می کند.