مراحل پایه فرآیند پوشش PVD خلاء
Apr 11, 2018| روند پیش پردازش
Decoating، انفجار، پرداخت، passivating، تمیز کردن، بستن
فرایند پوشش
تخلیه، گرمایش، آزمون میزان نشت، تمیز کردن بمباران، پوشش، خنک کردن
بعد از درمان
1. تمیز کردن: اطمینان حاصل کنید که سطح محصول قبل از پوشش تمیز است، پاک کننده سطح، بهتر است کیفیت پوشش را می توان تضمین شده است.
2. تخلیه: گاز باقی مانده از محفظه خلاء تخلیه شده است.
3. گرمایش: کوره و قطعه کار در همان زمان گرم می شوند تا سرعت آزاد شدن گاز باقی مانده را تسریع کنند.
4. آزمون میزان افزایش ولتاژ: میزان نشت گاز و میزان انتشار گاز کوره آزمایش.
5. تمیز کردن بمباران: حذف ناخالصی ها از سطح قطعه کار برای افشاندن سطح تمیز.
6. پوشش: فیلم انباشته شده.
7. خنک کننده: اجتناب از اکسیداسیون و تغییر رنگ قطعه کار.
چرا آن را خنک کن
پس از اتمام فرایند پوشش، دمای اتاق خلاء تا 500 درجه سانتیگراد است. اگر بدون خنک سازی تخلیه شود، سطح قطعه کار با درجه حرارت بالا پوشیده نمی شود زیرا واکنش با هوا می شود.
چگونه به خنک کردن؟
1. برای بستن سوپاپ بالا و اندازه گیری خلاء و محفظه خلاء از گروه پمپ جدا شده است.
2. هنگامی که اپراتور فشار دکمه نفوذ N 2 را فشار می دهد، نیتروژن قبل از اتصال به داخل محفظه خلاء از طریق دریچه تورم N 2 پر می شود و هنگامی که فشار در محفظه خلا به فشار پیش فرض سوئیچ فشار می رسد، N 2 دریچه توربین بسته است
3. محفظه خلاء با مقدار زیادی از N 2 پر می شود و درجه خلاء بسیار پایین است که برای هدایت حرارتی بسیار مفید است. این می تواند زمان خنک کننده را کاهش دهد و بازده تولید را افزایش دهد و زمان خنک سازی واقعی را می توان از 90 دقیقه تا 60 دقیقه کاهش داد.
4. از آنجا که هلیم دارای هدایت حرارتی بالاتری است، خنک کردن هلیوم سریع تر از نیتروژن است، اما هزینه آن بالاتر است.
5. برنامه خنک کننده سریع برای تجهیزات خارجی می تواند زمان خنک شدن را 50٪ از طریق خنک کردن چرخه خنک کننده گاز کاهش دهد.
دلایل افزایش فشار آزمایش
محیط خلاء مهمترین عامل تأثیرگذاری بر کیفیت پوشش نهایی است. قبل از پوشش، میزان افزایش فشار باید انجام شود تا اطمینان حاصل شود که شرایط محیط خلاء مطابق با استاندارد پوشش می باشد.