ویژگی درجه خلاء، واحد و تقسیم منطقه خلاء

ویژگی درجه خلاء، واحد و تقسیم منطقه خلاء

IKS PVD، ما تولید تجهیزات خلاء PVD، با ما تماس بگیرید، iks.pvd @ foxmail.come

استفاده از فشار برای نشان دادن درجه خلاء، که در تاریخ اندازه گیری خلاء توسط فشار سنج منفرد استفاده شده است بسیار منطقی نیست.

به طور کلی سیستم خلاء، مقدار فیزیکی هیدرواستاتیک فشار گاز خنثی ایزوترروپیک معمولا برای بیان درجه خلاء استفاده می شود. بنابراین، اندازه گیری درجه خلاء تنها به اندازه گیری فشار می رسد. با این حال، باید توجه ویژه ای به شرایط اندازه گیری داده شود که عبارتند از ثابت (حرکت تصادفی)، حالت پایدار و گاز خنثی تنها در یک کانال محدود. در این مورد، توزیع سرعت Maxwell، قانون پراکندگی کوزین و مفهوم فشار هیدرواستاتیک (p = nkT، v = 1 / 4nc، p = ρ gh) نسبتا منطبق با واقعیت عینی است، اندازه گیری درجه خلاء نسبتا ساده و آسان است.

با توجه به تعریف درجه خلاء، بهتر است درجه خلاء را با تراکم مولکولی n بیان کنیم، و بیانگر درجه خلاء با فشار نیست. هنگامی که فشار اندازه گیری می شود، گاز به طور کلی در حالت تعادل است و قانون قانون توزیع سرعت ماکسول را برآورده می کند، یعنی p = nkT درست است. دماي گاز در زمان اندازه گيري ثابت است، بنابراين فشار گاز p متناسب با تراكم مولكولي n است. به عبارت دیگر، فشار یک اندازه گیری از چگالی مولکولی است، بنابراین خلاء را می توان به عنوان فشار بیان کرد.

در تحقیقات فضایی، شیء تحقیق، حرکت فضای بی نهایت (1 تا 10 KMS - 1 یا بالاتر) است و تحت عمل فضای محیطی پیچیده و غیرمتمرکز، قانون توزیع حداکثر سرعت و قانون پراکندگی کوزین لزوما، همچنین معنای اصلی فیزیکی را از دست داده است، بنابراین فشار اندازه گیری خلاء پیچیده تر و دشوار است.

به طور کلی، آن محبوب است و برای بیان درجه خلاء با فشار استفاده می شود، اما تنها آن نیست. پارامترهای زیر نیز می توانند برای بیان درجه خلاء استفاده شوند:

هنگامی که درجه خلاء بسیار بالا است، یعنی زمانی که تراکم مولکولی بسیار کوچک است، نوسانات آماری بسیار واضح است. به عنوان مثال، هنگامی که فشار p = 10-12pa، نوسانات آماری بیشتر از 5 برابر 10-2 است و فشار آن اهمیت واقعی خود را از دست داده است. بنابراین، در بعضی موارد، فشار تنها شاخص نسبی مقادیر دیگر است .

1. پرسش و پاسخ

واحد خلاء؟

فشار یک گاز که توسط برخورد مولکول گاز بر روی یک سطح تعریف شده است، نرخ تغییر زمان مولفه ی عمودی مولکول گاز است که در برخورد با یک سطح سطح واحد است، یعنی نیروی دریافت شده در واحد واحد در پاسکال یا Pa

1 پان = 1 نانومتر - 2

در مهندسی، گاهی اوقات مقدار pa خیلی کم است، اغلب برای بیان فشار فشار خون مورد استفاده قرار می گیرد. خلاء کم، گاهی اوقات به عنوان "درصد خلاء"، مانند پمپ خلاء حلقه آب، پمپ خلاء حرکتی و پمپ خلاء مستقیم ریشه هوا اغلب بیان شده در خلاء این واحد است. هنگامی که فشار P> 102Pa، درصد خلاء دلتا است.

جایی که: p0 - فشار اتمسفری استاندارد، Pa

منطقه بندی خلاء

با یک واحد برای اندازه گیری درجه خلاء، درجه خلاء می تواند به صورت کمی بیان شود. با این حال، در حال حاضر محدوده فشار در فن آوری خلاء به 20 مرتبه رسید، به منظور تسهیل استفاده، گاهی اوقات لازم است که تقریبا به طور کلی محدوده درجه خلاء را مشخص، معمولا به طور کیفی به مناطق مختلف تقریبا خلاء تقسیم شده . خصوصیات فیزیکی حرکت مولکولی گاز در حالت خلاء و محدوده کاری موثر پمپ خلا و اندازه گیری خلاء در اساس تقسیم مناطق محسوب می شود.

در مورد تقسیم مناطق خلاء در چین، شرایط فن آوری خلاء (gb3163-1982) به شرح زیر است:

خلاء درشت، خلاء کم و خلاء بالا بر اساس میانگین آزاد مولکول های گاز در مقایسه با اندازه مشخصی از ظرف تقسیم می شوند. توجه اصلی این است که آیا برخورد بین مولکول های گاز یا برخورد بین مولکول های گاز و دیوار دستگاه نقش تعیین کننده ای در وقوع پدیده های فیزیکی ایفا می کند.

مرز بین خلاء بالا و خلاء فوق العاده بالا به عنوان 10-6Pa تنظیم شده است. دلیل اصلی این است که مکانیزم جذب فیزیکی جذب را در نظر بگیریم. تنها زمانی که فشار p <10-6pa واضح="" است،="" می="" توان="" آن="" را="" با="" پمپ="" پخش="" برای="" استخراج="" به="" دست="" آورد،="" و="" فشار="" توسط="" ba="" متر="" اندازه="" گیری="" می=""> همانطور که برای مرز بین خلاء بسیار بالا و خلاء فوق العاده بالا است، به دلیل آن است که نوسانات آماری (بیشتر از 5 * 10-2) زمانی رخ می دهد که p <10-12>

مناطق خلاء بالا به مناطق نشان دهنده محدوده فشار تقسیم می شوند، به همین دلیل است که فشار هنوز در درجه های بیان شده است. با این حال، در خلاء کم، خلاء بالا، خلاء بسیار بالا و خلاء بسیار بالا، فشار اشاره شده اساسا متفاوت است، تنها نشان دادن نسبی از مقادیر دیگر.

مشخصات فیزیکی خلاء، پمپ خلاء و اندازه گیری خلاء مورد استفاده در هر منطقه در جدول 1 توضیح داده شده است.

با توسعه تکنولوژی خلاء، تقسیم مناطق خلاء نیز تغییر کرده است.