طبقه بندی مگنترون کاتد Sputtering هدف
Jun 08, 2018| هدف اسپکترومغناطیسی مگنترون یک بخش مکانیکی مکانیکی خلاء و همچنین یک مولفه قدرت الکترونیکی است. از منظر استفاده از منبع تغذیه هدف، ما بیشتر نگران عملکرد الکتریکی آن هستیم.
1. با توجه به ساختار مکانیکی
با توجه به ساختار مکانیکی و شکل هدف، هدف تفنگ مگنترون عمدتا به اهداف مگنسترون هواپیما (مستطیلی یا دایره ای) تقسیم می شود، اهداف مگنبرون کواکسیال مجرایی، مغناطیسی کوبه ای، هدف مگنترون مخروطی شکل (S تفنگ) و چندین نفر دیگر.
2. با توجه به مواد هدف پلان
هدف پلان به هدف مگنترون مستطیلی مسطح، هدف مگنترون دایره ای مسطح و هدف ساختار مرکب کامپوزیتی قوس مغناطیسی تقسیم می شود.
3. با توجه به میدان مغناطیسی
(1) اهداف مگنتررون را می توان به آهنرباهای دائمی و الکترومغناطیس طبقه بندی کرد، بسته به حالت تشکیل میدان مغناطیسی.
(2) با توجه به تفاوت در موقعیت ترتیب و توزیع هدف مگنرون در محفظه خلا و تفاوت وضعیت توزیع قطب های مغناطیسی و خطوط مغناطیسی، می توان آن را به اسپکترومغناطیسی مگنترون و عدم توازن مگنترون تقسیم کرد (اسپکتروم مغناطیسی نامتعادل می تواند سطح پلاسما را از سطح هدف به سمت بهبود کیفیت لایه های سطح فیلم و اثر رسوب یون بزرگ منطقه قطعه ی تولید برساند). میدان مغناطیسی بستر چند هدفه سیستم اسپگتانس مغناطیسی نامتعادل می تواند نرخ رسوب بالا و فیلم نازک با کیفیت بالا را به دست آورد .
(3) میدان مغناطیسی نامتعادل هدف تفنگ مغناطیسی می تواند نه تنها با تغییر اندازه و قدرت آهنرباهای دائمی درونی و بیرونی، بلکه دو مجموعه از کویل الکترومغناطیسی یا استفاده از یک ساختار مخلوط کویل الکترومغناطیسی و دائمی آهنرباهای الکتریکی و همچنین افزودن solenoids اضافی بین کاتد و بستر برای تغییر میدان مغناطیسی بین کاتد و بستر و کنترل نسبت یون های مثبت و اتم ها در رسوب برای بهترین نتایج.