گروه پمپ خلاء بالا

گروه پمپ خلاء بالا
گروه پمپ خلاء بالا در حالت جریان مولکولی کار می کند و در مقایسه با واحد خلاء کم، با فشار کاری کم (10-2 ~ 10-6Pa)، حجم اگزوز کوچک و سرعت پمپاژ زیاد مشخص می شود. . پمپ اصلی واحد معمولاً پمپ انتشار، پمپ تقویت کننده انتشار، پمپ مولکولی، پمپ تصعید تیتانیوم، پمپ تراکم دمای پایین و غیره است که این پمپ ها نمی توانند مستقیماً در جو کار کنند، بنابراین لازم است پمپ های پیش پمپاژ را پیکربندی کنید. و پمپ های پیش مرحله و برخی از پمپ های دیفیوژن نیز مجهز به پمپ های نگهداری پیش مرحله یا مخازن گاز هستند تا از نوسانات فشار در سیستم جلوگیری کرده و عملکرد پمپاژ دستگاه را بهبود بخشد.

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com