معرفی کنترل دبي

کنترل دبي (MFC) برای اندازه گیری دقیق و کنترل دبي جرمي گاز استفاده می شود. معمولا سنسور جریان شیر کنترل جریان، تقویت کنترل مدار و از میان بردن کنترل کانال تشکیل شده است. آن منبع تغذیه کار و جریان صفحه نمایش و تنظیم عملیات توسط صفحه نمایش خود حمایت از جریان برق تامین.

استفاده و ویژگی های

MFC نقش مهمي در پژوهش های علمی و تولید در زمینه های بسیاری از جمله نیمه هادی ریز الکترونیک صنعت ویژه توسعه مواد شیمیایی صنعت نفت پزشکي حفاظت از محیط زیست و خلاء.

برنامه های کاربردی نمونه شامل: تجهیزات الکترونیکی فرایند مانند انتشار اکسیداسیون epitaxy، CVD، اچ پلاسما پوشش دهی الکترواستاتیک، کاشت یون; و خلاء پوشش تجهیزات، تجهیزات کروماتوگرافی گاز و دیگر ابزارهای تحلیلی.

روند کنترل کننده و توده متر با دقت بالا قابلیت تکرار صادق خوب سرعت پاسخ سریع شروع نرم محدوده فشار کاری پایدار و قابل اعتماد است (که می تواند کار تحت فشار بالا و یا شرایط خلاء)، بهره برداری آسان برای استفاده است. MFC می تواند در هر موقعیت نصب شده و با کامپیوتر به کنترل خودکار متصل است.

متر است که به طور کلی به انواع زیر تقسیم شده است:

1. حجمی سرد

عنصر ابزار اندازه گیری مکانیکی به طور مداوم مایع تقسیم به بخش تک دوره شناخته شده استفاده می کند. جریان حجم مایع با توجه به چند بار حجم مایع پر و تخلیه یکی پس از دیگری را در اندازه گیری پی در پی از اتاق اندازه گیری.

2. شیر سرد (روتور متر)

سرد شناور نوع متغیر منطقه سرد، که شناور می تواند آزاد در مخروط ظهور و سقوط در مخروط عمودی از بالا به پایین مقطع دایره ای شناور گرانش با قدرت مایع پشتیبانی شود.

3-اختلاف فشار سرد

آن بر فشار دیفرانسیل تولید شده توسط آشکارساز جریان در لوله شرط مایع شناخته شده و متر برای محاسبه جریان بین لوله و لوله نصب شده است.

4. گرداب خیابان متر (VSF)

ژنراتور گرداب غیر ساده در مایع قرار داده شده و مایع تناوب در دو طرف بدن تولید به دو سری دستگاه به طور منظم به هم آمیختن گرداب جدا می شود.

5. توربین سرد

نوع اصلی سرعت سرد است. با استفاده از چند تیغه روتور (توربین) حس سرعت متوسط مایع و استنتاج ابزار جریان حجم و یا مقدار کل.

6-اولتراسونیک متر

این اندازه گیری جریان اندازه گیری اثر جریان سیالات در پرتو التراسونیک (یا پالس اولتراسونیک) است.

7. الکترومغناطیسی سرد

متر الکترومغناطیسی نوع ابزار برای اندازه گیری رسانایی مایع با توجه به قانون القای الکترومغناطیسی فارادی است.

8-حرارتی توده سرد

سنسور حرارتی سرد شامل دو عنصر سنجش سنسور سرعت و دما. آنها به طور خودکار می تواند جبران و تنظیم تغییر دمای گاز. اختلاف دمای بین سنسور سرعت و سنسور در شرایط دمای کار بود که بخش الکتریکی از ساز سنسور سرعت به مقدار معینی بالاتر از دمای شرایط کار گرم تشکیل شده است. هنگامی که تفاوت درجه حرارت ثابت نگه داشته است، انرژی الکتریکی مصرف متناسب با جریان توده جریان گاز است و مناسب برای اندازه گیری گاز تک و نسبت ثابت گاز چند مولفه است.