تمیز کردن پلاسما

تمیز کردن پلاسما به معنای استفاده از پلاسما برای دستیابی به نتایجی است که روش های تمیز کردن معمولی نمی توانند انجام دهند. پلاسما ماده ای است که همچنین ماده چهارم ماده است که متعلق به سه حالت جامد، مایع و گاز نیست. استفاده از انرژی کافی به گاز برای یونیزاسیون، حالت پلاسما تبدیل می شود.

مولکول های فعال "پلاسما" عبارتند از یون، الکترون، اتم، گروه واکنش پذیر، نوکلئوتید در حالت هیجان (حالت متاستاز)، فوتون و غیره. تمیز کردن پلاسما برای درمان سطح نمونه با استفاده از خواص این اجزای فعال برای رسیدن به اثرات تمیز کردن و پوشش است. سطح قطعه کار با اقدام شیمیایی یا فیزیکی برای دستیابی به حذف آلاینده در سطح مولکولی درمان می شود و در نتیجه بهبود فعالیت سطح قطعه کار را بهبود می بخشد. آلاینده هایی که حذف می شوند ممکن است حاوی مواد آلی، رزین اپوکسی، نور سنج، اکسید، آلاینده های میکروپروسکا و غیره باشند، بنابراین تمیز کردن پلاسما نوعی تمیز کردن با دقت بالا است. برای آلودگی های مختلف باید از فرایندهای مختلف تمیز استفاده شود. به طور کلی، تمیز کردن پلاسما به پاک کردن مواد شیمیایی، تمیز کردن فیزیکی و تمیز کردن مواد شیمیایی فیزیکی بستگی دارد به گاز فرآوری انتخاب شده.