اصل یونیزاسیون خلاء سنج

در فشار کم گاز، تعداد یون های مثبت تولید شده توسط یونیزاسیون مولکول های گاز متناسب با فشار گاز است. سنجش خلاء یونیزاسیون یک وسیله اندازه گیری خلاء بر اساس اصل است که فشار گاز اندازه گیری شده متناسب با جریان یونیزه تولید شده توسط یونیزاسیون گاز ها در شرایط خاص است.

با توجه به روش های مختلف تولید یون، یک سنج خلاء برای یونیزاسیون گاز توسط کاتد داغ، الکترونها را منتشر می کند، یک خلاء یونیزاسیون کاتد داغ است، و اندازه گیری یونیزاسیون کاتد داغ شامل یک لوله سنج کاتد گرم و یک ابزار اندازه گیری است. ابزار اندازه گیری شامل نیروگاه لوله اندازه گیری و تنظیم کننده جریان جریان، تقویت کننده اندازه گیری جریان یونی است. اندازه گیری یونیزاسیون کاتد داغ با سیستم خلاء اندازه گیری شده که یک کاتد، یک دروازه و یک کلکتور است، متصل است. پتانسیل الکتریکی جمع کننده نسبت به پتانسیل منفی کاتدی است، در حالی که شبکه نسبت به پتانسیل مثبت کاتد نسبت به آن است. هنگامی که یونیزاسیون اندازه گیری الکتریکی و گرم می شود، کاتد الکترونها را منتشر می کند که در فرایند رسیدن به شبکه با مولکول های گاز برخورد می کنند و منجر به یونیزاسیون یون ها و الکترون های مثبت می شود. وقتی جریان خروجی ثابت می شود، تعداد یون های مثبت متناسب با فشار گاز تحت آزمایش است. پس از جمع آوری یون های مثبت، یون مثبت توسط مدار اندازه گیری تقویت می شود و درجه خلاء اندازه گیری می تواند توسط متر تایید خوانده شود.

اندازه گیری یونیزاسیون کاتدی داغ، مانند شکل نشان داده شده در شکل a است که از شکل صفحه ای سیلندر (جمع کننده یون) C، شبکه G تشکیل شده است و در مرکز شبکه رشته کاتدی شبکه ای تشکیل شده از F، ورقه شکل سیلندر خارج از شبکه یونجه است.

شکل b مدار خارجی کنترل است، پتانسیل شبکه بین +100 ~ +300 V و پتانسیل صفحه بین 0 تا -50V است. برای انتشار الکترونها از رشته کاتد F بعد از گرمایش الکتریکی. همانطور که شبکه یونجه ی G یک ولتاژ مثبت است، الکترون های خروجی شتاب می یابند، الکترون ها با مولکول های داخلی برخورد می کنند، به طوری که یونیزاسیون مولکول های گاز، فشار گاز بیشتر، تراکم گاز بیشتر، فرصت بیشتری برای برخورد، نتیجه یون های مثبت بیشتر. یون های مثبت در ولتاژ منفی صفحات استوانه ای تحت تاثیر یون های مثبت برای جذب تشکیل جریان صفحه، چگالی گاز مولکولی (یعنی بیشتر فشار)، جریان جریان پلاستیکی بزرگ است، در مقابل، کوچک است. جریان صفحه در محدوده اندازه گیری متناسب با فشار اندازه گیری شده است.

هنگامی که سیستم خلاء اتمسفر را در خود جابجا می کند، گازهای زیادی را بر روی سطح حباب شیشه ای سنجش یونیزاسیون و سطح الکترود جذب می کند. در محیط خلاء، گاز دوباره آزاد می شود، که بر دقت اندازه گیری تاثیر می گذارد. برای از بین بردن این اثر، لوله سنج باید قبل از اندازه گیری گاز شود. اندازه گیری یونیزاسیون از روش پخت برای تخلیه استفاده می کند، به این ترتیب، رشته ها و شبکه می توانند به ترتیب انرژی و گرم شوند، در حالی که الکترودهای پلاستیکی با استفاده از گرمایش القایی با فرکانس بالا یا بمباران الکترون، گاز قبل از اندازه گیری آزاد شد. خلاء یونیزاسیون کلی دارای عملکرد تخلیه ای است، زمانی که درجه خلاء بیش از 1 × 10 ^{-2 است} Pa، برای انجماد سنج یونیزاسیون با توجه به مشخصات.