PVD پوشش ضخامت و بازرسی

PVD پوشش ضخامت و بازرسی

IKS PVD، دستگاه تولید خلاء PVD از چین، با ما تماس بگیرید، iks.pvd @ foxmail.com

ضخامت پوشش به سطح بیرونی پوشش و فاصله تا سطح زیر بست تحت پوشش، به طور کلی در 0 ~ 15um، روش های مختلف تشخیص وجود دارد، به شرح زیر کاربرد فعلی از روش های رایج تر: روش مقطعی، کروی روش علامت گذاری و روش تشخیص غیر مخرب.

1. روش بخش

روش بخش روش تشخیص مخرب است، قطعه کار ممکن است دوباره مورد استفاده قرار نگیرد. قطعه کار یا نمونه در طول بخش پوشش را تحت آزمایش قرار می دهد، در زیر میکروسکوپ 1000 تا 10000 بار بزرگتر برای اندازه گیری، بزرگتر عامل بزرگنمایی، کوچکتر اثر از فاکتورهای انسانی، بالاتر از حد دقیق است. مرز بین پوشش و بستر بسیار واضح و قابل اندازه گیری است توسط مقیاس در sem.The فاصله بین نقاط شروع و پایان خط نقاشی، ضخامت پوشش است. آیا اندازه گیری دقیق است و یا این است که به درستی مرز بین پوشش و بستر را قضاوت، در غیر این صورت خطا را به ارمغان می آورد. اگر رابط بین پوشش و بستر فازی است، بهتر است از این روش اندازه گیری استفاده نکنید. به طور کلی این روش اندازه گیری بصری و دقیق است. علاوه بر این، هنگامی که این روش برای اندازه گیری استفاده می شود، بهتر است بخش را مشاهده کنید، که باید نسبتا مسطح باشد. در غیر این صورت، پردازش دستی باید انجام شود تا بخش حتی برای مشاهده و اندازه گیری باشد.

آینه نفت نیز می تواند مورد استفاده قرار گیرد برای مشاهده بخش پوشش برای اندازه گیری. نمونه برش در پودر پلاستیکی برای فشار دادن، سوزاندن و تشکیل یک نمونه بلوک قرار می گیرد و سپس سطح آزمایش شده تمیز می شود و سطح آزمایش شده تمیز می شود. در طول اندازه گیری، هوا از روغن پمپ شده بین لنزهای هدف و سطح اندازه گیری شده برای کاهش تداخلات اندازه گیری می شود.

2 توپ دهانه

روش مارک توپ استفاده از قطر خاص توپ فولاد در سطح پوشش سنگ زنی، پوشش و ماتریس سنگ زنی یک گودال، توپ آسیاب توپ برای قوس. الزامات عملیات سنگ زنی همانند آزمایش علامت توپ است که چسبندگی پوشش را اندازه گیری می کند. پس از آسیاب توپ، تصویر زیر میکروسکوپ از طریق سیستم تصویربرداری و زیر مانیتور مشاهده می شود.

ظاهر قطعه کار با روش علامت توپ آسیب خواهد دید. اگر نقطه تشخیص در ناحیه کاربردی وجود نداشته باشد، معمولا آن را دوباره استفاده نمی کند. با این حال، برای جلوگیری از اشتباهات، قبل از آزمایش با این روش، باید با رضایت از صاحب مصنوعات بحث و بررسی شود.

3 آزمایش غیر مخرب (NDT)

روش تست غیردولتی تشخیص ضخامت پوشش در قطعه کار بدون صدمه زدن به قطعه کار است. انواع مختلفی از روش های NDT وجود دارد، به طور کلی، تست های غیر انسانی نیاز به ارائه بستر و ترکیب پوشش، یا ارائه قطعه نمونه پوشش برای تجزیه و تحلیل داده های معیار، در آزمون، اندازه گیری خواهد شد و ترکیب ترکیب پوشش مقایسه با بلوک های نمونه اصلی به تئوری ضخامت پوشش را محاسبه کنید، بنابراین برای تجزیه و تحلیل ترکیب بستر و پوشش، برنامه اندازه گیری، و سپس به اندازه گیری واقعی انجام دهید. البته، برخی از ابزارها را می توان بدون ایجاد بلوک های نمونه مستقیما اندازه گیری کرد، اما خطا بزرگ است. این بخش عمدتا فلورسانس اشعه ایکس (XRF) را معرفی می کند.

ابزار XRF به طور عمده از منبع تحریک اشعه ایکس و سیستم تشخیص استفاده می شود. اشعه ایکس اشعه تولید اشعه های مبتنی بر اشعه ایکس می شود) (تابش یا قطعه قطعه کار برای اندازه گیری، هر عنصر قطعه کار اندازه گیری شده، انگیزه، اشعه های ثانویه اشعه منتشر شده و اشعه های ثانویه منتشر شده توسط عناصر مختلف با ویژگی های انرژی خاص (به عنوان مثال، با توجه به ویژگی انرژی از انواع اشعه های ثانویه و محتوای عناصر می توانند یاد بگیرند). سیستم تشخیص انرژی و مقدار این اشعه های ثانویه هیجان زده می شود. انرژی و اطلاعات تشخیص داده شده را به عناصر و محتوای متناظر تبدیل می کند، به طوری که نوع و محتوای عناصر در قطعه کار تحت آزمایش می تواند شناسایی شود. با استفاده از اصل فلوئورسانس اشعه ایکس، هر عنصر در جدول تناوبی می تواند به لحاظ تئوری اندازه گیری شود. ، در کاربرد عملی، محدوده اندازه گیری موثر عنصر از عنصر 11، سدیم (Na)، به عنصر 92، اورانیوم (U) است.

با توجه به اصول فوق، هنگام اندازه گیری ضخامت پوشش از نمونه، XRF به ترتیب ترکیب عنصر ماتریکس و پوشش را تحلیل می کند. به طور کلی، ترکیب عنصر پوشش بسیار متفاوت از ماتریس است. بنابراین، نرم افزار محاسبه می تواند ضخامت پوشش را محاسبه کند. اگر ترکیب عنصر زیربناهای مختلف و پوشش ها به طور جداگانه در پیش تعیین شده و در پایگاه داده کامپیوتر به عنوان یک استاندارد ذخیره می شود، هنگامی که تشخیص XRF، ترکیب عنصر تشخیص با استاندارد برای پیدا کردن ماتریس مربوطه و نوع پوشش، و قضاوت رابط بین پوشش و بستر، به طوری که برای اندازه گیری ضخامت پوشش دقیق تر.