انتخاب تجهیزات اندازه گیری خلاء در محدوده های مختلف خلاء

خلاء خشن

کاربردهای خلاء عمومی ، دستگاه خلاء از نوع بهار (سنج تغییر شکل الاستیک مکانیکی)

در عین حال ، هنگام اندازه گیری از خلاء خشن تا خلاء کم ، می توان از دستگاه خلاء از نوع دیافراگم ، نوع خلاء اندازه گیری شده از فیلم و خلاء یونیزاسیون رادیواکتیو استفاده کرد

101325-1000Pa

گاز خورنده ، سنج فیلم خازنی

مناسبت های اندازه گیری دقیق ، دستگاه خلاء از نوع u

خلاء کم

فقط برای نشان های خشن ， نشانگر خلاء جرقه

1000-0.1Pa

به طور کلی سنج خلاء ترموکوپل یا مقاومت

اندازه گیری دقیق ، فشار خلاء از نوع فشرده سازی یا فشار خلاء فیلم نازک

خلاء بالا

کاربرد اصلی دستگاه خلاء یونیزاسیون

10 ^-1 -10 ^-6 Pa

فشار خلاء فشار

در عین حال ، برای اندازه گیری خلاء کم و خلا بالا ، فشار سنج خلاء ترکیب (ترکیبی از دستگاه خلاء یونیزاسیون و دستگاه خلاء ترموکوپل) یا فشار سنج فشار بالا یونیزاسیون مورد نیاز است

دستگاه خلاء یونیزاسیون کاتد سرد برای تجهیزات خلاء با ظرفیت تخلیه زیاد و مواردی با شرایط کم

  خلاء فوق العاده بالا (UHV)

دستگاه خلاء یونیزاسیون نوع BA

از اندازه گیری خلاء کم گرفته تا خلا فوق العاده بالا ، طیف گسترده ای فوق العاده بالا خلاء متر یا کامپوزیت خلاء فوق العاده بالا

10 ^-6 -10 ^-10 Pa

سنج خلاء یونیزاسیون کنترل شده کاتد سرد

خلا بسیار بالا (XHV)

·

سنج خلاء یونیزاسیون کنترل شده کاتد سرد

افتخار   10 ^-10 Pa

سنج خلاء یونیزاسیون کنترل شده با کاتد گرم

سنج خلاء یونیزاسیون ba بهبود یافته است