Sputtering هدف اصلی برنامه است
Nov 08, 2017| هدف قرار دادن اسپری به طور عمده در صنایع الکترونیکی و اطلاعات مانند مدار مجتمع، صفحه نمایش کریستال مایع، ذخیره سازی اطلاعات، حافظه لیزر، دستگاه های کنترل الکترونیکی و غیره استفاده می شود. همچنین می تواند به زمینه پوشش شیشه ای اعمال شود؛ همچنین می تواند در مواد مقاوم در برابر حرارت بالا، مقاومت در برابر خوردگی، محصولات دکوراسیون با کیفیت بالا و سایر صنایع استفاده شود.
با توجه به طبقه بندی شکل می تواند به هدف هدف، هدف، هدف دایره تقسیم، مشخصات هدف می تواند به اهداف فلزی، مواد هدف آلیاژ، هدف مشترک ترکیب سرامیک با توجه به برنامه های مختلف تقسیم شده به هدف نیمه هادی سرامیکی، رسانه ضبط، هدفون سرامیکی هدف سرامیکی، هدف سرامیکی ابررسانایی و هدف سرامیک مغناطیسی غول پیکر با توجه به دامنه کاربرد برای هدف، هدف، هدف، دیسک ضبط مغناطیسی هدف از مقاومت نوری مقاومت نوری فولاد، هدف، هدف، هدف قرار دادن لایه ماسک لایه اصلاح سطح فیلم ، هدف، هدف، هدف، هدف قرار دادن لایه الکترودهای لایه تزئینی، هدف قرار دادن مگنترون اسپری او اصل: با توجه به ترکیب در هدف پرتاب (کاتد) و متعامد میدان مغناطیسی و میدان الکتریکی و آند در اتاق خلاء بالا پر از گازهای بی هوازی مورد نیاز (معمولا Ar)، شکل مغناطیسی دائمی 250 تا 350 گاوس در میدان مغناطیسی روی سطح مواد هدف میدان الکترومغناطیسی متعامد از میدان الکتریکی ولتاژ بالا تشکیل شده است. تحت تاثیر میدان الکتریکی، یونیزاسیون گاز Ar به یون ها و الکترون ها، هدف با ولتاژ منفی بالا و گاز کاری تحت عمل میدان مغناطیسی از هدف الکترونیکی از احتمال یونیزاسیون افزایش می یابد، تشکیل یک پلاسما در نزدیکی کاتد، نقش یون های Ar در نیروی لورنتس تحت شتاب به سوی سطح هدف. در سطوح هدفمند بمباران با سرعت بسیار بالا، هدف، اتمهای اسپری شده است، به دنبال اصل تبدیل تبدیل انرژی با انرژی جنبشی بالا از سطح هدف به فیلم پوشیده شده بر روی بستر است. Sputtering مغناطیسی به طور کلی به دو نوع تقسیم می شود: Sputtering شعبه و Sputtering RF، که در آن دستگاه sputtering شاخه ای است که به طور ساده و سریع در فلز اسپری است. Sputtering RF می تواند به طور گسترده ای مورد استفاده قرار گیرد، علاوه بر مواد رسانای اسپری، اما همچنین مواد غیر رسانایی اسپری، اما همچنین اسپکترومایزر واکنش برای تهیه اکسید، نیترید و کاربید و سایر ترکیبات. اگر فرکانس RF افزایش یابد، آن را تبدیل به یک پلاسمای مایکروویو پلاسما، معمولا با sputtering پلاسما مایکروویو نوع الکترونی رزونانس سیلیکوترون (ECR).
هدف پوشش مگنترون:
آلیاژ فلزی آلومینیوم، هدف تلنگر، هدف تلقیح سرامیک، سرامیک بورید اسپری، کاربید اسپری سرامیک، فلوراید سرامیک، نیترید سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سرامیک، سایر سرامیک، کروم، سیلیکون اکسید سرامیکی هدف (Cr-SiO)، فسفید اندی (InP)، هدف سرب آرسنیک (PbAs)، هدف InAs (InAs).
خلوص بالا و تیرگی بالا هدف قرار دارد:
هدف تفکیک (خلوص 99.9٪ -99.999٪)
1. هدف فلز:
هدف، نیکل، هدف تیتانیوم نیکل، Ti، Zn، Cr، Zn، Mg، Cr، Mg هدف، هدف Nb، هدف، هدف نایوبیم قلع، Sn، هدف آلومینیوم و آل هدف، در، هدف آهن و شاخص، آهن، هدف ، ZrAl، Zr Al Ti و Al اهداف، TiAl، Zirconium هدف Zr، AlSi، سیلیکون آلومینیوم سیلیکون هدف، هدف Si، هدف Cu، هدف T مس، هدف تانتالیوم، Ge، a، Ge، Ag، هدف هدف نقره کبالت، شرکت Au، Gd، هدف طلا، هدف Gd، هدف لا، هدف یتیم، لانتانیم، سریم، هدف، هدف تنگستن W، W، فولاد ضد زنگ، هدف هدف کروم نیکل، هدف و Hf، NiCr، هدف موفن هافنیوم و مو هدف، FeNi، آهن نیکل، هدف تنگستن، هدف قرار دادن فلز فلزات سنگین.
2. سرامیک هدف
اهداف هدف ITO و AZO، اکسید منیزیم، هدف، هدف، نیترید سیلیکون اکسید آهن، نیترید تیتانیوم، هدف هدف هدف هدف سیلیکون کاربید، کروم روی، اکسید روی، سولفید روی، هدف سیلیکا، اکسید سیلیکون هدف، هدف اکسید سریم، هدف دو هدف و پنج دو اکسید زیرکونیا، دی اکسید تیتانیوم، هدف هدف نایوبیم دو هدف دو زیرکونیا و دو هدف اکسید هافنیوم، دو هدف دی بورید تیتانیم بورید زیرکونیم، هدف اکسید تنگستن، هدف، هدف پنج سه اکسید آلومینیوم دو اکسید تانتالیم پنج، دو نایوبیوم هدف، هدف، فلوراید یتیم هدف، فلوراید منیزیم، هدف نیترید آلومینیوم هدف سلنید روی، هدف نیترید سیلیکون، نیترید بور، تیتانیوم نیترید سیلیکون کاربید هدف، هدف، هدف. هدف هدف هدف لیتیم نایوبات تیتانات پراسئودیمیوم باریم تیتانات، تیتانات لانتانیم و هدف قرار دادن سرامیک اکسید نیکل است.
هدف آلیاژ 3.
هدف آلیاژ NiC، هدف آلیاژ نیکل وانادیوم و آلیاژ آلومینیوم و آلیاژ آلومینیوم نیکل، تیتانیوم آلیاژ آلومینیوم، آلیاژ نیکل آلیاژ و آلیاژ بور، آلیاژ آلیاژ آلیاژ آلیاژ آلیاژ آلیاژ هدف.


