به منظور پمپاژ ، پمپ میعانات به منظور تراکم گاز بر روی سطح درجه حرارت پایین استفاده می شود

1) پمپ تراکم به منظور پمپاژ کردن ، گاز را در سطح دمای کم چگال می کند. هنگامی که یک سطح سرد در محفظه خلا وجود دارد ، چگالش روی آن اتفاق می افتد که می تواند نقش استخراج هوا را داشته باشد. این یک اصل کار از پمپ تراکم تراشه و تله سرد کرایوژنیک است. فشار بخار اشباع از نزدیک ارتباطی با دما دارد و هنگامی که دما پایین می رود ، فشار بخار اشباع پایین می رود.

جدول 1 ترکیب استاندارد جو را نشان می دهد. شکل 1 منحنی رابطه دما فشار بخار اشباع گازهای مختلف را نشان می دهد. همانطور که از شکل 1 مشاهده می شود ، هنگامی که درجه حرارت به 20K کاهش می یابد ، به غیر از گازهای نئون ، هیدروژن ، هلیوم و سایر گازهای با مشکل چگال ، فشار بخار اشباع شده سایر اجزای موجود در هوا پایین تر از 10-10 تورم است. بنابراین ، هنگامی که ظرف هوایی پر از هوا تا 20K خنک شود ، خلاء می تواند به 1.2E-3 torr برسد. در 4.2k ، فقط هلیوم باقی مانده است ، و خلاء آن تا 5e-5torr است. سطح سرد پمپ چگالش را می توان به طور کلی در حدود 14-20k انتخاب کرد و روش گرگرفتگی با گاز میعان آسان یا جاروبرقی با پمپ های دیگر به تصویب رسیده است تا به میزان زیادی میزان هیدروژن ، هلیوم و سایر گازهای کندانسور سخت را در پمپ کاهش دهد. سیستم. مقدار کمی از گاز چگالش که در حین کار به سیستم نشت می کند ، توسط پمپ های دیگر نیز قابل حذف است.

[جدول 1] ترکیب جوی استاندارد

[شکل. 1] رابطه دما فشار بخار اشباع شده از گازهای مختلف

IKS PVD ، ما تولید کننده دستگاه پوشش خلاء از چین ، جزئیات بیشتر ، تماس با: iks.pvd@foxmail.com