سیستم خلاء فوق العاده بالا بدون پمپ یون پاششی

سیستم خلاء بسیار بالا از پمپ یون پاشش کننده

پمپ یون پاشش کننده پمپ اصلی است و از دو پمپ غربال مولکولی به عنوان پمپ پیش پمپاژ استفاده می شود. یک پمپ غربال مولکولی برای حذف گاز تحت فشار اتمسفر در محفظه خلاء و پمپ یون پاشش کننده استفاده می شود و دیگری برای حذف گاز آزاد شده هنگام شروع پخت و پمپ یون استفاده می شود.

سیستم پمپ یون پاششی

1.محفظه خلاء 2.Ba خلاء سنج3. سوپاپ خلاء بسیار بالا 4. سوپاپ خلأ بسیار بالا 5. پمپ یونی خروجی 6. سوپاپ خلاء بالا 7. پمپ غربال مولکولی 8.سنج خلاء ترموکوپل

شرکت IKS PVD ، دستگاه پوشش تزئینی ، دستگاه پوشش ابزار ، دستگاه پوشش نوری ، خط پوشش خلا PVD ، پروژه کلید کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید ، ایمیل:iks.pvd@foxmail.com