مقایسه اصلی پردازش پرتو الکترون و فناوری پردازش پرتو یون

اصل   مقایسه پردازش پرتو الکترون و فناوری پردازش پرتو یون

پردازش پرتوی الکترون تحت شرایط خلاء ، با استفاده از چگالی انرژی زیاد پرتوهای الکترون ، پس از تمرکز روی تأثیر سرعت زیاد به سطح حداقل سطح ، در مدت زمان بسیار کوتاهی (در کسری از میکرو ثانیه) ، بیشتر انرژی خود را وارد انرژی گرما می کند. ، باعث می شود که تأثیر مواد قطعه کار به بیش از چند هزار درجه سانتیگراد درجه سانتیگراد رسیده باشد ، بنابراین باعث ذوب جزئی و تبخیر مواد توسط سیستم خلاء می شود. با کنترل چگالی انرژی پرتو الکترونی و زمان تزریق انرژی می توان اهداف پردازش مختلفی را بدست آورد. در صورت گرم شدن ماده در محل ، عملیات حرارتی پرتو الکترونی انجام می شود. جوشکاری پرتوی الکترون را می توان با ذوب شدن جزئی مواد انجام داد. با افزایش چگالی انرژی پرتوهای الکترون ، مواد مذاب و گازدار می شوند ، به طوری که می توان آن را مشت ، برش و پردازش کرد. در هنگام استفاده از پرتو الکترونی با چگالی انرژی کم برای بمباران مواد حساس به نور از پلیمر ، می توان از لیتوگرافی پرتو الکترونی استفاده کرد.

پردازش پرتوی یون شبیه پردازش پرتوهای الکترون است به این دلیل که پرتوهای یونی تولید شده توسط منبع یونی برای تمرکز در شرایط خلاء شتاب می یابد و باعث می شود که به سطح قطعه کار برخورد کند. یون های دارای بار مثبت هستند و کیفیت آن هزاران ، ده ها هزار برابر بیشتر از الکترونیک است ، مانند کیفیت یون آرگون 72000 برابر بیشتر از الکترون است ، بنابراین یک بار یون با سرعت زیاد شتاب می یابد ، پرتو یون الکترونی پرتو تاثیر بیشتری دارد انرژی جنبشی ، این است که به جای انرژی پردازش شده توسط انرژی جنبشی به انرژی گرما ، به انرژی تأثیر میکرو مکانیکی تکیه کنید. اساس فیزیکی پردازش پرتو یونی اثر ضربه ، اثر پاشش و اثر تزریق در هنگام برخورد پرتو یونی به سطح مواد است. هنگامی که یونهایی با انرژی جنبشی مشخصی به سطح قطعه کار خم شوند ، اتمهای روی سطح می توانند از بین بروند. اگر قطعه کار مستقیماً به عنوان هدف بمباران یونی مورد استفاده قرار گیرد ، سطح قطعه کار با یونها سیر می شود. اگر قطعه کار در نزدیکی ماده مورد نظر قرار گیرد ، اتمهای ماده هدف بر روی سطح قطعه کار پاشیده می شوند و با لکه دار شدن رسوب و جذب می شوند ، به طوری که سطح قطعه کار با یک پوشش از اتمهای ماده هدف پوشانده می شود. اگر انرژی یون به اندازه کافی بزرگ باشد که به سطح قطعه کار بصورت عمودی برخورد کند ، یون ها به سطح قطعه کار حفر می شوند ، که همان اثر کاشت یون است.

دستگاه پوشش نوری پرتو IKS PVD Electron ， IKS-OPT2700 ، جزئیات بیشتر ، با تماس با ما خوش آمدید iks.pvd@foxmail.com