استرس فیلم پوشش

استرس فیلم پوشش

I. طبقه بندی استرس فیلم و علل استرس

استرس داخلی می تواند به استرس داخلی و استرس اضافی داخلی تقسیم شود. سابق است در فرایند تشکیل فیلم، نقص ساختاری و اثرات حرارتی در فیلم ایجاد شده زمانی که هسته های کریستال با یکدیگر ادغام شده اند القا

. هنگامی که اتمهای فاز گاز به سوبسترا تزریق می شود، در طول فرآیند تشکیل پروتئین، مقدار زیادی از حرارت آزاد می شود . این مقدار گرما همانند خنک شدن سوبسترا است، که منجر به ایجاد استرس می شود و در همان زمان

از آنجا که بخار، هسته را در مرحله اولیه رسوب بستگی تشکیل می دهد، کشش سطحی دانه ها، دانه های مجاور را تشکیل می دهد و دانه های بزرگتر را شکل می دهد ؛ این همبستگی، انرژی آن سطح را کاهش می دهد، سطح زمین کاهش می یابد، انقباض دانه و بستر جلوگیری می کند آن را از هم زدن و کاهش، به این ترتیب فیلم باعث ایجاد استرس داخلی تراکم. دومی به دلیل تشکیل فیلم پس از پشت سر گذاشتن است

فیلم به وسیله اکسیداسیون تولید می شود که در جو یا اتمسفر قرار می گیرد. سه پاسخ فوق این که آیا نیروهای ACTS به شکل تنش کششی یا استرس فشرده، در رابط پایه غشا رخ می دهد

تولید تنش برشی هنگامی که تنش برشی به اندازه کافی بزرگ است تا غلظت چسبندگی بین رابطهای پایه غشا، غشا شکسته شود.

تکه تکه شدن و یا ریختن، به طوری که به درستی مطابقت فیلم و بستر، استرس حرارتی فیلم را کاهش می دهد، فرمول صحیح فیلم در روند رسوب، کلید قدرت است استرس تنزل را کاهش می دهد و یا ایجاد دو تنش برای هر جبران دیگر نیز بهبود چسبندگی فیلم است.

روش دوم دریافت فیلم کم استرس

برای تهیه فیلم هایی با استرس کم، می توان از روش های زیر در تهیه غشا استفاده کرد :

(1) درجه حرارت مناسب بستر را برای کاهش استرس حرارتی انتخاب کنید

رسوب از کاهش استرس حرارتی باید زمانی که دمای زیربخش را انتخاب کنید، بلکه باید از کاهش استرس داخلی بالاتر را انتخاب کنید با توجه به نقطه ذوب پایین، ساختار فیلم فلزی است تنش داخلی است کوچک است، استرس حرارتی نقش مهمی در این لحظه، از جمله تهیه فیلم های ابررسانایی مانند سرب Indium tin، Substrate در دمای مایع هلیوم دمای تنش گرمایی می تواند صفر باشد، به طوری که نقطه ذوب فلز پایین، باید دمای زیر بستر را بر روی انواع دیگر فلز انتخاب کنید، دمای زیربخش باید بلندتر انتخاب کنید، به طوری که برای رسیدن به هدف کاهش استرس داخلی

علاوه بر این، انتخاب معقول غشاء و سوبسترا، به طوری که ضریب انبساط حرارتی دو ماده نزدیک به فیلم نیز راه کاهش استرس حرارتی

(2) انتخاب صحیح فشار گاز باقی مانده

رسوب فیلم، فشار گاز باقی مانده بیش از حد بالا است، احتمال برخورد بین مولکول های گاز بخار و گاز باقی مانده افزایش خواهد یافت که نه تنها بر میزان رسوب تاثیر می گذارد، بلکه همچنین به دلیل پدیده پراکندگی برخورد حاصل از ساختار تصادفی ساخت غشا و ایجاد لایه غشاء متخلخل ، آسان برای اکسیداسیون غشاء، حتی در داخل لایه غشایی برای تولید حباب، بنابراین پوشش گاز باقی مانده در محیط های زیست محیطی نامطلوب و غلط است، انتخاب کنید در 10 ^-3 -10 ^-4 Pa مناسب

(3) انتخاب نرخ رسوب

میزان رسوب بستگی به درجه حرارت، شکل، اندازه، فاصله و ظرفیت تبخیر منبع اصلی تبخیر دارد . انتخاب میزان رسوب باید نه تنها نیازهای عملکرد و استرس فیلم را، بلکه روند را نیز در نظر بگیرد

الزامات. برای فیلم های رسانشی فلز، میزان رسوب را می توان بزرگتر انتخاب کرد، مانند فیلم، اندازه دانه به عنوان کوچک که ممکن است، ساختار نوک تیز، اکسیداسیون ضعیف، سطح روشن و صاف، هدایت الکتریکی خوب است. برای مقاومت در برابر سایش پلی اتیلن، اکسیداسیون مناسب غشا برای ثبات محصول ضروری است. بنابراین، میزان رسوب می تواند کند شود برخی. از آنجا که اکثر غشاهای دی الکتریک اکسید و یا غشاهای مخلوط دیگر هستند، هنگامی که اکسیداسیون می شوند، آنها شکسته می شوند. یا با استفاده از بخاری باعث تولید واکنش شیمیایی می شود، هر دو به دمای منبع تبخیر مربوط می شوند و هدایت گرمائی فیلم دی الکتریک ضعیف است، وقتی گرما تبخیری نامنظم است، باید از میزان افت انباشت پایین تر استفاده کند.

(4) انتخاب ضخامت فیلم و زاویه فرار بخار

رابطه ضخامت فیلم و استرس باقی مانده باقی مانده در شکل 1-2-7 نشان داده شده است. ضخامت فیلم بیش از 100 نانومتر هنگامی که استرس تغییر نکند. با این حال، نیروی برشی به دلیل استرس در غشاء - رابط پایه

این به طور مستقیم با ضخامت فیلم متناسب است، بنابراین نیروی برشی می تواند بیشتر از چسبندگی باشد وقتی که ضخامت فیلم بیش از حد بزرگ است، در نتیجه فیلم از دست دادن است .

شکل 1-2-7 میانگین استرس باقی مانده در طی تبخیر و پخش شدن فیلم های نقره

همچنین انتخاب زاویه ای از بخار برای تجهیزات با فاصله تبخیری کوچک، زاویه برانگیختگی بسیار مهم است

به منظور کاهش زاویه بروز، بهتر است که زیربنای کمتر را بپوشانید

لازم است. زاویه بروز معمولا نباید بیش از 15 درجه باشد. البته، همچنین می تواند تنظیم معقول قاب قاب پایه را منتقل کند . برای حل این مشکل.

( 5) کنترل مناسب و حذف تنش های اضافی داخلی

استرس داخلی اضافی بیشتر استرس فشاری است که ممکن است مطابق با خواص استرس فیلم تولید شده در طی رسوب مناسب باشد

کنترل و تنظیم، مانند فیلم استرس کششی بزرگتر، می تواند استرس اضافی را برای رسیدن به انواع بیشتر . جبران دو برابر فشار.

علاوه بر این پس از رسوب فیلم، عایق حرارتی مناسب را می توان در اتاق خلاء انجام داد تا ساختار داخلی فیلم را تثبیت کند و یک فیلم خالص بسیار نازک روی سطح ایجاد کند. همچنین مهم است که فیلم های تازه ضبط شده را به صورت کم و یا بدون قرار گرفتن در معرض جو به عنوان امکان پذیر، به ویژه هنگامی که دمای زیربخش بسیار بالاتر از دمای اتاق