رسوب خلاء چیست؟
Dec 22, 2017| رسوب خلاء خانواده فرآیندهای سپرده لایه مواد اتم به اتم یا مولکول به مولکول در سطح جامد استفاده می شود است. این فرآیند در فشار و زیر فشار اتمسفر عمل می کنند (یعنی, خلاء). لایه های سپرده می تواند طیف وسیعی از ضخامت یک اتم تا میلیمتر تشکیل ساختار مستقل. چند لایه از مواد مختلف، مثلا به صورت پوشش های نوری می توان. فرآیند مبتنی بر در منبع بخار واجد شرایط باشد می تواند;رسوب فیزیکی بخار با استفاده از مایع یا جامد منبع و بخار شیمیایی رسوب بخار شیمیایی استفاده می کند.
شرح
محیط خلاء یک یا بیشتر اهداف عمل می کنند:
● کاهش تراکم ذرات که مسافت آزاد متوسط برای برخورد طولانی است
● کاهش تراکم ذرات نامطلوب اتم و مولکول (آلودگی)
● ارائه یک محیط کم فشار پلاسما
● ارائه وسیله ای برای کنترل گاز و بخار ترکیب
● ارائه وسیله ای برای کنترل جریان توده به اتاق پردازش.
تغلیظ ذرات می تواند در شیوه های مختلف تولید:
● تبخیر حرارتی، تبخیر (رسوب)
● قوس کاتدیک تبخیر
● فرسایش لیزر
● تجزیه پیشرو شیمیایی بخار تبخیر شیمیایی
در واکنش رسوب مواد سرمایه گذاری یا واکنش نشان می دهد با جزء محیط گازی (Ti + N→قلع) و یا با گونه های مشترک سرمایه گذاری (Ti + C → حرکات غیر ارادی). ایدز یک محیط پلاسما در فعال کردن گونه های گازی (N2→ 2N) و تجزیه پیش سازهای شیمیایی بخار (SiH4→ Si + 4 H). پلاسما نیز ممکن است مورد استفاده قرار گیرد یون برای تبخیر توسط پوشش دهی الکترواستاتیک یا برای بمباران بستر برای تمیز کردن با خشم ادا کردن و برای بمباران سرمایه گذاری مواد به ساختار densify و خواص (یون آبکاری) خیاط ارائه.
انواع
هنگامی که منبع بخار مایع با مایع یا جامد فرایند رسوب فیزیکی بخار (PVD) نامیده می شود. هنگامی که منبع پیشرو بخار شیمیایی، فرایند رسوب شیمیایی بخار (CVD) نامیده می شود. دومی چند نوع است: رسوب بخار شیمیایی هدپ (LPCVD) و رسوب های پیشرفته به پلاسما شیمیایی بخار (PECVD) و با کمک پلاسما CVD (PACVD). اغلب ترکیبی از فرآیندهای CVD و PVD استفاده می شود در اتاق های متصل یا همان پردازش.
برنامه های کاربردی
● هدایت الکتریکی: فیلم های فلزی و اکسیدهای رسانا شفاف (TCO) و فیلم های ابررسانا و پوشش
دستگاه های نیمه هادی: فیلم های نیمه هادی، عایق الکتریکی فیلم
● سلول های خورشیدی
● فیلم های نوری: پوشش ضد بازتاب، فیلترهای نوری
● پوشش انعکاسی: آینه، آینه های داغ
● Tribological پوشش: پوشش سخت، پوشش های مقاوم در برابر فرسایش، روغن جامد فیلم
● حفاظت از انرژی و نسل: کم emissivity پوشش های شیشه ای خورشیدی جذب پوشش آینه سلول های فیلم نازک خورشیدی فتوولتائیک فیلم هوشمند
● فیلم های مغناطیسی: ضبط مغناطيسي
● مانع انتشار: موانع نفوذ موانع نفوذ بخار حالت جامد موانع انتشار گاز
● حفاظت در برابر خوردگی
● برنامه های کاربردی خودرو: لامپ بازتابنده و برنامه های کاربردی تر و تمیز
● وینیل رکورد پرس تولید طلا و پلاتین سوابق
ضخامت کمتر از یک میکرون به طور کلی فیلم نازک در حالی که ضخامت بیشتر از یک میکرون به نام پوشش نامیده می شود.