اصل پوشش خلاء PVD رنگارنگ چیه؟

اصل پوشش خلاء PVD رنگارنگ چیه؟

اپی تکسی پرتو مولکولی به طور گسترده ای برای ساخت دستگاه های مختلف یکپارچه نوری و فیلم های مختلف فوق شبکه استفاده می شود. هنگامی که سطح جامد با ذرات با انرژی بالا بمباران می شود، ذرات روی سطح جامد می توانند انرژی به دست آورده و از سطح فرار کنند تا بر روی بستر رسوب کنند. کندوپاش در سال ۱۸۷۰ شروع به استفاده در فناوری پوشش کرد، و پس از سال ۱۹۳۰ به دلیل افزایش نرخ رسوب، به تدریج در صنعت مورد استفاده قرار گرفت. موادی که باید واریز شوند معمولاً به یک بشقاب، یک هدف، که بر روی کاتد ثابت است، ساخته می شود. بستر بر روی آند رو به سطح هدف، چند سانتی متر از هدف قرار می گیرد. پس از پمپ شدن به یک خلاء بالا، سیستم با 10 ~ 1 pa گاز (معمولا آرگون) پر می شود، و چند کیلوولت بین کاتد و آند اعمال می شود، تولید تخلیه درخشش بین الکترودها. يون های مثبت حاصل از تخليه تحت عمل ميدان الکتريکی به کاتد پرواز می کنند و با اتم های روی سطح هدف برخورد می کنند. اتم های هدف که بر اثر برخورد از سطح هدف فرار می کنند، اتم های کندوپاش نامیده می شوند که انرژی آن ها از ۱ تا ده ها ولت الکترونی است. اتم های کندوپاش بر روی سطح بستر رسوب می کنند تا آبکاری تشکیل شوند. متفاوت از آبکاری تبخیری، آبکاری کندوپاش توسط نقطه ذوب مواد فیلم محدود نمی شود و می تواند مواد نسوز کندوپاش مانند W، Ta، C، Mo، WC و TiC را کندوپاش کند. فیلم های ترکیبی کندوپاش را می توان با کندوپاش واکنش پذیر تهیه کرد که در آن گازهای واکنش (O، N، HS، CH و غیره) به گاز Ar اضافه می شوند و گازهای واکنش و یوون های آن ها با اتم های هدف یا اتم های کندوپاش واکنش نشان می دهند تا ترکیباتی (مانند اکسیدها، نیترید و غیره) تولید کنند و بر روی بستر رسوب کنند. فیلم عایق را می توان با روش کندوپاش فرکانس بالا واریز کرد. بستر بر روی الکترود خاکی نصب شده است، و هدف عایق بر روی الکترود مخالف نصب شده است. منبع تغذیه hf در یک انتهای زمین دار است و به یک الکترود با هدف عایق از طریق یک شبکه تطبیق و ظرفیت DC جدا شده متصل می شود. پس از روشن شدن منبع تغذیه hf، ولتاژ HF به طور مداوم قطبیت را تغییر می دهد. الکترون ها و الکترون های مثبت در پلاسما در نیم چرخه مثبت و منفی ولتاژ به هدف عایق برخورد کردند. از آنجا که تحرک الکترون بیشتر از ایون مثبت است، سطح هدف عایق به صورت منفی شارژ می شود. هنگامی که تعادل پویا به دست می رسد، هدف در یک پتانسیل سوگیری منفی قرار دارد، به طوری که کندوپاشییون مثبت به هدف ادامه می یابد.

IKS PVD company,decorative coating machine,tools coating machine,optical coating mahcine,PVD vacuum coting line. اکنون با ما تماس بگیرید،ایمیل: iks.pvd@foxmail.com