چرا طراحی مدار مغناطیسی بسیار مهم است؟

تکنولوژی اسپکترومغناطیسی مگنترون در دهه های اخیر یکی از مهمترین روش های پوشش رسوب شناخته شده است. این محصول به طور گسترده ای در تولید صنعتی و تحقیقات علمی کاربرد دارد. به عنوان مثال، در صنایع ماشین سازی مدرن، تکنولوژی اسپکتروم مغناطیسی برای پوشش دادن فیلم های کاربردی، فیلم های فوق العاده سخت و فیلم های خود روانکاری بر روی سطح کار استفاده می شود. در زمینه اپتیک، تکنولوژی اسپکترومغناطیسی مگنترون برای پوشش دادن فیلم های ضد انفجار، فیلم های کم اشعه و فیلم های شفاف، فیلم های عایق حرارتی استفاده می شود. تکنولوژی اسپکترومغناطیسی مگنترون همچنین نقش مهمی در زمینه میکرو الکترونیک، ضبط نوری و مغناطیسی دارد. با این حال، تکنولوژی اسپکترومغناطیسی مگنترون همچنین کمبودهای خاص خود را دارد، از جمله استفاده کم هدف، نرخ رسوب پایین و نرخ یونیزاسیون کم. نرخ بهره کم هدف به علت وجود تراک ها روی سطح هدف است که پلاسما را به یک منطقه محلی از سطح هدف محدود می کند و موجب پراکندگی منطقه ای آن می شود. شکل آهنگ توسط ساختار میدان مغناطیسی پشت هدف تعیین می شود. کلید بهبود بهره برداری از هدف این است که ساختار میدان مغناطیسی را تنظیم کنید تا پلاسما در یک سطح بزرگتر سطح هدف برای رسیدن به اسپری یکنواخت به وجود آید. برای پاشش مگنترون، عملکرد اسپری شدن با افزایش قدرت هدف افزایش می یابد، اما ممکن است هدف به دلیل بار حرارتی ذوب و ترک خورده باشد.

این مشکلات را می توان با افزایش سطح اسپری سطح هدف در مورد یک منطقه هدف، حل کرده و موجب کاهش چگالی انرژی سطح هدف می شود. بنابراین، طراحی مغناطیسی کاتد اسپری مگنترون به طور مداوم بهبود یافته است. برخی از آنها نماینده هستند:

1. منبع اسپکترومغناطیسی مگنترون دایره ای مسطح، مسیرهای روی سطح هدف از طریق طراحی هدفمند میدان مغناطیسی عبور می کنند و مغناطیسی توسط دستگاه انتقال مکانیکی برای دستیابی به لکه های کامل از سطح هدف چرخانده می شود.

2. منبع اسپکترومغناطیسی مگنترون فانوس مستطیلی، ترکیبی از آهنرباهای یک حرکت الماس یا شکوفه آلو در قسمت پشت هدف را با مکانیزم انتقال، به طوری که میزان استفاده کلی هدف به 61٪ می رسد. تنظیم ساختار میدان مغناطیسی همچنین می تواند یکنواختی ضخامت فیلم را بهبود بخشد. تکنولوژی اسپکترومغناطیسی مغناطیسی نامتعادل که با تنظیم نسبت قدرت میدان مغناطیسی به کار میرود. بنابراین طراحی مدار مغناطیسی مهمترین قسمت منبع اسپکتروم مغناطیسی است.