فیلمبرداری مشکلی مشترک از فیلم مگنترون اسپری

فیلم خاکستری و تاریک است

1. درجه خلاء کمتر از 0.67Pa است. درجه خلاء باید به 0.13-0.4Pa افزایش یابد.

2. خلوص آرگون کمتر از 99.9٪ است. با استفاده از آرگون با خلوص 99.99٪ استفاده کنید.

3. سیستم نشت بادی. سیستم تورم باید برای از بین بردن نشت ها بررسی شود.

4. Primer کاملا درمان نشده است. زمان پخت آغازگر باید مناسب باشد.

5. مقدار گاز تولید شده از قسمت پلاستیکی بیش از حد بزرگ است. اتاق باید خشک و مهر و موم شود

سطح نازک و خسته کننده

1. زمان پاشیدن بیش از حد طول می کشد. زمان باید به طور مناسب کوتاه شود.

2. فشردگی و سرعت تشکیل فیلم خیلی سریع است. لطفا به درستی جریان جریان یا ولتاژ اسپری را کاهش دهید.

رنگ بی رنگ از پوشش

1. فیلم خیلی نازک است. لطفا سرعت اسپری شدن یا زمان اسپری را افزایش دهید.

2. طراحی ثابت غیر منطقی طراحی پایه باید بهبود یابد.

3. هندسه بستر بسیار پیچیده است. لطفا سرعت چرخش بستر را به سرعت افزایش دهید.

فیلم دارای چین و چروک است

1. نرخ تبخیر بسیار سریع است. این باید به درستی کاهش یابد.

2. فیلم خیلی ضخیم است. زمان پاشش باید به طور مناسب کوتاه شود.

3. دمای سوبستر بسیار بالا است. لطفا زمان گرمایش سوبسترا را کوتاه کنید

سطح فیلم دارای علامت های آب، اثر انگشت و ذرات دود است

1. بستر پس از تمیزکاری کافی نیست. درمان قبل از پوسته شدن باید تقویت شود.

2. سطح سوبسترا با آب یا بزاق پر شده است. اپراتورها باید ماسک ها را پوشانند

چسبندگی بد

1. خیساندن ضعیف قطعات پلاستیکی. درمان قبل از پوسته شدن باید تقویت شود.

2. محفظه خلاء تمیز نیست. محفظه خلاء باید تمیز شود. لطفا توجه داشته باشید که در طول فرآیند بارگیری و تخلیه اهداف، به شدت ممنوع است از دست یا دیگر شیء نابجا ممنوع است که منبع مهتابرون را لمس کند.

3. آرامش پاک نیست. ثابت باید تمیز شود

4. کنترل نامناسب شرایط فلاشینگ. لطفا شرایط فرآیند اسپری را بهبود ببخشید.