سیستم تبخیر پرتو الکترونی

الکترون پرتو و حرارتی تبخیر سیستم. مرحله چرخش سیاره ای یا ساده می تواند شامل حرارت دادن تا دمای بالاتر از 950 درجه سانتیگراد، بسته به اندازه بستر و مواد. یون منابع IBAD و بستر پاک را می توان به سیستم نیز یکپارچه. سیستم تبخیر با کامل پمپ های دستی یا برقی و پنوماتیک شیر آلات تمام خلاء سنج جعبه توزیع قدرت الکترونیکی قفسه منیفولدهای آب و هوا و ایمنی اينترلاک آمده است. سیستم های دستی و یا از طریق کامپیوتر کنترل اداره می شود. بستر گرم کن ها و کنترل ها را می توان برای غیر معمول بستر اشکال و اندازه های طراحی شده است. برنامه های کاربردی شامل تحقیقات مواد اولیه، دستگاه، سیلیکون و GaAs پوشش ویفر، MEMS یا فن آوری صفحه نمایش، و بیشتر.

بسیاری از گزینه های سیستم در دسترس، از جمله طیف گسترده ای از کاتد و منابع حرارتی، منبع تغذیه، ادغام پرتو یون یا مجنترنس منابع RGA را، UHV قابلیت، ویفر چند بار قفل های مانیتور را با خشم ادا کردن.