فیلم رشد

همه نازک رسوب پروسه از سه مرحله تشکیل شده است:

1-ساخت فیلم تشکیل گونه

2-انتقال این گونه از منبع به بستر

3. مهر و دوخت در بستر

در PVD گام اول است یا تبخیر یا پوشش دهی الکترواستاتیک، مرحله دوم انتقال خط دید اگر فشار روند بسیار کم است و احتمال کوچک برای برخورد یا حمل و نقل جریان وجود دارد اگر فشار بالا نشان میدهد. نوع حمل و نقل رشد واقعی فیلم در مرحله سوم را تحت تاثیر قرار.

هنگامی که اتم در سطح بستر وارد و جذب شده است، تا آن یا desorbed یا گیر به یک سایت پر انرژی مطلوب آن در سطح منتشر خواهد شد. این سطح انتشار وابسته به چه انرژی اتم است به محض ورود به سطح است و اگر بستر توسط انرژی اضافی مانند توسط حرارت یا یون بمباران عرضه شده است. انرژی اتم وابسته به فشار در محفظه رسوب در کاهش فشار انرژی با توجه به تلفات انرژی در برخورد است. بمباران یون سطح در پلاسما بر اساس روش امکان پذیر است و می تواند توسط ولتاژ منفی تاير از بستر با توجه به پلاسما کنترل می شود.

اگر اتم به اتم فیلم دیگری در سطح چوب، جفت کم تحرک ایجاد شده است و این احتمال برای اتم های دیگر به آنها را افزایش می دهد. در تعداد بحرانی اتم و هسته های بحرانی اندازه هسته تشکیل شده است. این هسته به جزایر کریستالی است که هنگام ملاقات با یکدیگر یکی شدن و در نهایت تشکیل یک فیلم مستمر افزایش خواهد یافت. بسته به پارامترهای فرایند رشد فیلم در راه های مختلفی دادن مكرستركترس مختلف ادامه خواهد داد. فیلم می تواند لایه به لایه یا در جزایر 3D و یا در ترکیب این حالت دو رشد رشد.

در PVD رشد فیلم اغلب ستونی است، یعنی crystallites در ستون با بیشتر و یا کمتر توسعه یافته از مرزهای دانه بین آنها رشد می کنند. مرزهای دانه حفره هایی باشد و بسیاری از خواص این فیلم رو به وخامت است، اما فیلم واقعی متراکم و ستونی مثلا خواص tribological باشند. ساختار متراکم کامل در این فیلم این است که اغلب بسیار مطلوب است. به عنوان ساختار متراکم بمباران یون فیلم رو تبلیغ می شود، فیلم هایی اغلب توسط روش PVD در محیط با چگالی سپرده شد می توانید.

چندین مدل رشد فیلم اثر شرایط رسوب در ساختار فیلم شده اند. معمولا استفاده می شود ساختار تجربی مدل های منطقه که در آن حالت های مختلف رشد (مناطق) در نمودار برای درجه حرارت های مختلف به نسبت درجه حرارت (T/T m) ذوب شناسایی است. بررسی گسترده از جمله مدل توسط علي جان تورنتون در سال 1977 منتشر شده و اینجا زیر خلاصه ای از این. Movchan و Demchishin طبقه بندی زیر ساخته شده: منطقه 1 ظاهر می شود وقتی که m T/T< 0.3="" and="" is="" characterized="" by="" high="" surface="" roughness="" and="" voided="" grain="" boundaries.="" zone="" 2="" appears="" when="" 0.3="">< t/t="" m="">< 0.5="" and="" is="" characterized="" by="" a="" mat,="" smooth="" surface="" and="" columnar="" grains="" with="" distinct,="" dense="" boundaries.="" zone="" 3="" appears="" when="" 0.5="">< t/t="" m="">< 1="" and="" are="" characterized="" by="" a="" bright="" surface="" and="" equiaxed="" grains.="" the="" structure="" and="" properties="" of="" this="" zone="" are="" close="" to="" bulk="" material.="" thornton="" has="" proposed="" an="" extended="" model="" where="" the="" influence="" of="" the="" process="" gas="" pressure="" is="" added="" into="" a="" second="" axis="" in="" the="" diagram.="" in="" this="" diagram="" a="" fourth="" zone="" (zone="" t,="" transition)="" can="" be="" identified="" between="" zone="" 1="" and="" zone="" 2.="" the="" zone="" t="" structure="" is="" dense="" and="" fibrous="" without="" voided="" grain="">