منبع تغذیه اسپاترینگ مگنترون

منبع تغذیه کندوپاش مگنترون

از نقطه نظر شکل موج خروجی، با توسعه خود فناوری کندوپاش مگنترون، چندین روش DC، پالس تک قطبی، پالس دوقطبی متقارن (منبع تغذیه کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط) و پالس دوقطبی (قدرت کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط ​​نامتقارن) را تجربه کرده است. عرضه). در حال حاضر منبع تغذیه کندوپاش مگنترون جدید از فناوری منبع تغذیه سوئیچینگ اینورتر فرکانس بالا ساخته شده است و منبع تغذیه کندوپاش مگنترون فرکانس متوسط ​​به منبع تغذیه ترجیحی برای تجهیزات جدید کندوپاش مگنترون تبدیل شده است. برای کنترل دقیق ضخامت لایه فیلم، منبع تغذیه کندوپاش مگنترون باید پایدار کار کند و ویژگی های ثابت خوبی داشته باشد. در حال حاضر، استفاده اصلی از حالت جریان ثابت، حالت قدرت ثابت نیز وجود دارد، اما به ندرت از حالت ولتاژ ثابت استفاده می شود. علاوه بر این، یک مزیت قابل توجه از تکنولوژی پوشش کندوپاش مگنترون این است که لایه فیلم متراکم است و روکش خوب است. برای دستیابی به این مزیت، لازم است که تعداد دفعات تحریک و انرژی هر تحریک بر روی سطح هدف در طول فرآیند کندوپاش مگنترون به شدت محدود شود و تعداد ذرات هدف ماکروسکوپی ناشی از لحظه تحریک به حداقل برسد که این امر باعث کاهش سرعت می شود. تراکم و پایان لایه فیلم و به طور جدی باعث ریزش فیلم می شود

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com