اهداف مورد نیاز برای انتخاب پوشش های PVD مورد توجه هستند

هنگام انتخاب اهداف، به جز استفاده از پوشش ها، موارد زیر باید مورد توجه قرار گیرد:

◆ پوشش که توسط اهداف ذخیره شده باید مقاومت مکانیکی خوب و ثبات شیمیایی داشته باشد

◆ پوشش که توسط اهداف ذخیره شده باید دارای نیروی اتصال مناسب با بستر باشد. در غير اين صورت، مواد پوششي با نيروي اتصال مناسب به بستر بايد مورد استفاده قرار گيرد و در ابتدا اسپري كردن و پاك كردن غشاء زير بنايي و سپس پوشش هاي مورد نظر را آماده سازند.

◆ همانطور که پوشش توسط پرتوافکن واکنشی شکل گرفته است، مواد پوشش باید به راحتی با یک گاز واکنش نشان دهند و تولید فیلم ترکیب کنند.

◆ مطابق فرضیه رضایت بخش بودن الزامات عملکرد پوشش، کوچکتر تفاوت ضریب انبساط حرارتی بین هدف و بستر، بهتر است، به طوری که برای کاهش تاثیر استرس حرارتی.

◆ هدف باید به نیازهای فنی خلوص، محتوای ناخالصی، یکنواختی جزء، دقت ماشینکاری و غیره برسد.