محدوده اندازه گیری گیج خلاء یونیزاسیون کاتد داغ

اگرچه محدوده اندازه‌گیری گیج خلاء یونیزاسیون کاتد گرم می‌تواند به 10-2~10-11mbar برسد، اما زمانی که فشار خیلی زیاد باشد، رابطه بین جریان ذرات و فشار از خطی منحرف شده و به سمت اشباع شدن گرایش پیدا می‌کند. به منظور افزایش دامنه اندازه گیری معمولاً از وکیوم گیج پیرانی در نقطه شروع پمپ (در صورت فشار بیش از حد) استفاده می شود.

علاوه بر این، حد پایین اندازه‌گیری دستگاه‌های خلاء مترهای یونیزاسیون کاتد داغ معمولی حدود 10-6Pa مرتبه بزرگی است: هنگامی که آند دروازه با الکترون بمباران می‌شود، اشعه ایکس نرم تولید می‌شود و انتشار فوتوالکترون زمانی رخ می‌دهد که یون جمع کننده این اشعه را دریافت می کند. از آنجایی که فوتون ساطع شده توسط کلکتور معادل یون هایی است که جمع آوری می کند، یک جریان نوری پس زمینه مستقل از فشار در مدار جمع کننده یون تشکیل می شود که در هنگام اندازه گیری با فشار خواندن حدود 10-6Pa نشان داده می شود. به منظور حذف اثر جریان نور پس‌زمینه و گسترش حد اندازه‌گیری گیج خلاء یونیزاسیون کاتد داغ، گیج خلاء یونیزاسیون BA (حد اندازه‌گیری می‌تواند به 10-8 Pa)، گیج خلاء سرکوب‌کننده (از لحاظ نظری می‌تواند به {{6} برسد). }Pa)، گیج خلاء مدوله شده (10-10Pa)، گیج خلاء جداشده (10-11Pa)، و غیره.

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com