مشکلات رایج تجهیزات PECVD-کیفیت تشکیل فیلم ضعیف
Jul 03, 2023| مشکلات رایج تجهیزات PECVD-کیفیت تشکیل فیلم ضعیف
(1) تمیزی سطح نمونه ضعیف است، بررسی کنید که آیا سطح نمونه تمیز است یا خیر.
(2) تمیزی محفظه فرآیند ضعیف است و محفظه فرآیند تمیز می شود.
(3) اگر دمای نمونه غیر طبیعی است، بررسی کنید که آیا سیستم کنترل دما نرمال است و ترموکوپل اندازه گیری دما را کالیبره کنید.
(4) فشار غیر طبیعی در فرآیند رسوب فیلم، میزان نشت سیستم خلاء حفره را بررسی کنید.
(5) اگر برق RF به درستی تنظیم نشده است، منبع تغذیه RF را بررسی کنید و توان تنظیم شده را تنظیم کنید.
شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com
←
یک جفت: توسعه و کاربرد تجهیزات پوشش خلاء
ارسال درخواست