دستورالعمل عملیات ماشین آلات پوشش خلاء PVD
Mar 19, 2019| دستورالعمل عملیات ماشین آلات پوشش خلاء PVD
راه اندازی
1. بررسی کنید که آیا آبراهه قفل شده است، و تأیید کنید که آیا برج خنک کننده و پمپ رادیکال به طور معمول کار می کنند (فشار آب باید بیش از 0.4mpa باشد).
2. بررسی کنید که آیا هوا هوا روشن است و تایید اینکه آیا کمپرسور هوا به طور معمول کار می کند (فشار هوا باید به 0.5mpa برسد).
3. سوئیچ قدرت را روشن کنید، سوئیچ "راه اندازی" و "نگه داشتن پمپ" را روشن کنید، و هنگامی که ترموکوپل متر خواندن خلاء زیر 10pa، روشن کردن چهار سوئیچ "پمپ دمنده پمپ کنترل دما 1، 2 "و" پمپ انتشار 1، 2 ". یعنی پمپ دیافراگم حرارت (حدود 1 ساعت) است.
4. بعد از مدت زمان گرمایش حدود 10 دقیقه، تله دما پایین را شروع کنید. بعد از مدت زمان خنک سازی 6 دقیقه، F1 را فشار دهید تا تله کم دما را شروع کنید. هنگامی که دمای تنظیم شده در کنترل کننده دما برسد، عملیات تولید طبیعی انجام می شود.
تولید و عملیات
1. تأیید کنید که مواد فیلم، رشته های منبع یون و قاب کار در محفظه خلاء به صورت مورد نیاز قرار داده شده اند.
2. "پمپ خشن" را روشن کنید، دنده اتوماتیک دستگاه استخراج هوا را به چرخ دنده اتوماتیک بچرخانید، سوئیچ اتوماتیک هوا را بچرخانید و منتظر بمانید تا درب محفظه خلاء را ببندید.
3. هنگامی که ریشه پمپ به طور خودکار شروع می شود، تله دمای پایین "F2" را فشار دهید تا تابع تله تله شروع شود.
4. این عملیات باید از فرآیند متفاوت باشد و تغییرات بزرگی وجود دارد، در اینجا توضیحی دقیق نیست، به این معنی است.
5. فرآیند کامل است، اسلحه را ببندید، منبع یون (باید جریان قدرت صفر XianGui صفر و پس از آن منبع تغذیه را ببندید)، مانند سوئیچ، سوئیچ هوا اتوماتیک را باز کنید، پس از شیر سوپاپ خوب، خروجی اتوماتیک سوئیچ دستی را به صورت دستی (در اینجا علاوه بر توجه لازم برای حفظ پمپ، پمپ پخش، پمپاژ، چهار سوئیچ بوت فشار داده شده است، دیگر هرگز سوئیچ را فشار نمی دهید، برای جلوگیری از خطا ناشی از انتشار پمپ در معرض جو!) تله F3 را فشار دهید تا عملکرد بازگشت درجه حرارت را فعال کنید. وقتی دمای دمنده کم دما به بیش از 30 درجه سانتیگراد افزایش پیدا می کند، "شیر پر شدن" را باز کنید. هنگامی که درب درب خلاء باز می شود، "شیر پر شدن" را ببندید. (توجه داشته باشید: به شدت ممنوع است برای اشتباه گرفتن "خودکار استخراج هوا" با "شارژ خودکار هوا" سوئیچ)
6. چرخه فوق عملیات عادی است.
بسته شدن
1. بستن درب محفظه خلاء به یک خلاء خاص و بستن همه سوئیچ ها به جز سوئیچ "توقف".
2. منبع تغذیه، کمپرسور هوا، برج خنک کننده و پد رادیکال را می توان تنها پس از خنک کردن دستگاه خنک کننده در یک ساعت خاموش کرد.
توجه داشته باشید: تمام عملیات فوق باید به شدت انجام شود و نمی توان بدون اجازه تغییر کرد. اگر دستگاه پوشش در اثر عملیات نامناسب آسیب دیده یا آسیب دیده باشد، اپراتور مسئولیت مربوطه را تحمل خواهد کرد.
هشدار: در این دستگاه ترانسفورماتورهای ولتاژ بالا وجود دارد، ولتاژ تا 8 کیلو ولت به منظور جلوگیری از حوادث ایمنی، درب های محافظ تحت کابینه الکتریکی و اتاق خلاء را بدون اجازه باز کنید.
توجه: دستورالعمل فوق عملیات می تواند برای تمام دستگاه پوشش PVD مناسب نیست، اگر شما هر گونه سوال در مورد فن آوری پوشش خلاء PVD، تماس با IKS PVD در حال حاضر، پست الکترونیکی: iks.pvd@foxmail.com