مکانیسم های واکنش CVD

CVD را می توان با استفاده از انواع مختلفی از مکانیسم های واکنش، مانند CVD حرارتی، CVD افزایش یافته پلاسما و CVD تقویت شده با نور انجام داد. هر مکانیزم مزایا و معایب خود را دارد و انتخاب مکانیزم به خواص و کاربردهای مورد نظر فیلم بستگی دارد.
در یک CVD داغ، گاز پیش ساز تا دمای بالا گرم می شود تا واکنش شیمیایی رسوب یک فیلم جامد بر روی بستر را افزایش دهد. در CVD تقویت‌شده با پلاسما، گاز پیش‌ساز برای تولید پلاسما یونیزه می‌شود که باعث افزایش واکنش‌های شیمیایی و افزایش نرخ رسوب می‌شود. در یک CVD تقویت شده با نور، گاز پیش ساز با نور ماوراء بنفش تابش می شود تا یک واکنش شیمیایی را تحریک کند.

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com