اصل ساختار سنج خلاء ترموکوپل

اندازه گیری خلاء ترموکوپل تغییر درجه حرارت سیم را با استفاده از ترموکوپل اندازه گیری می کند. و پتانسیل ترموالکتریک تولید شده توسط ترموکوپل، فشار در سنج را مشخص می کند. محدوده اندازه گیری فشار سنج DL-3 ترموکوپل 102 تا 10-1 Pa است.

نمودار ساختار سنج خلاء ترموکوپل در شکل 1 نشان داده شده است. این شامل سنجنده ترموکوپل و مدارهای اندازه گیری است. اندازه گیری ترموکوپل عمدتا از سیم داغ و ترموکوپل تشکیل شده است. پایان داغ ترموکوپل با سیم داغ متصل است، و انتهای دیگر به عنوان پایان سرد و از طریق لوله خروجی سیم سیم به منظور اتصال به میلیوولت متر برای اندازه گیری پتانسیل ترموکوپل استفاده می شود. مدار اندازه گیری نسبتا ساده است.

در طول اندازه گیری، سیم داغ اندازه گیری داده می شود یک جریان حرارت خاص. در فشار پایین ( λ ≥ r2)، پتانسیل ترموکوپل E توسط فشار p در سنج تعیین می شود، زیرا تغییر دما رشته بستگی به هدایت گرما گاز دارد. هنگامی که فشار کاهش می یابد، مقدار گرما انجام شده توسط مولکول های گاز کاهش می یابد، و درجه حرارت سیم گرم بر این اساس افزایش می یابد. در نتیجه، پتانسیل ترموکوپل E افزایش می یابد. در غیر این صورت پتانسیل ترموکوپل E کاهش می یابد.

تغییر جریان گرمای سنج در مورد حساسیت و محدوده اندازه گیری اثر می گذارد. اگر جریان گرمایش افزایش یابد، حساسیت قانونی افزایش می یابد و فشار بالاتر می تواند اندازه گیری شود، اما محدوده اندازه گیری باریک تر می شود. از سوی دیگر، اگر جریان گرمایش کاهش یابد، حساسیت قانونی کاهش می یابد و تنها فشار پایین می تواند اندازه گیری شود، اما محدوده اندازه گیری بزرگتر است.

هنگامی که جریان حرارت ثابت است، اگر رابطه بین پتانسیل ترموکوپل E و فشار p در پیش گرفته شده اندازه گیری شود، فشار سیستم تحت آزمایش می تواند به طور مستقیم با توجه به نشان می میلیوولت متر مشخص شده است.