ساختار مقاومت خلاء سنج (Pirani Vacuum Gauge Pirani)

سنسور خلاء مقاومت، همچنین به عنوان سنسور Pirani شناخته می شود، نشان دهنده تغییرات فشار بر اساس تغییرات مقاومت رشته های داغ است. این عمدتا از مدارهای اندازه گیری و اندازه گیری تشکیل شده است. محدوده اندازه گیری آن 104 تا 10-1 Pa است.

ساختار مقاومت سنج در شکل 1 نشان داده شده است. یک سیم استوانه ای مارپیچی سیم مسی با زاویه مقاومت ضریب دمای بالا در پوشش گیرنده تنظیم می شود. هر دو انتهای سیم داغ از لوله اندازه گیری خارج می شوند و خط اندازه گیری را متصل می کنند. پوسته سنج می تواند از فلز یا شیشه ای ساخته شود. پوسته فلزی دارای مزایای دوام، راحت حذف رشته های داغ و غیره است. معایب عملکرد ضعیف آب بندی و قیمت بالا است. پوسته شیشه ای دارای مزایای عملکرد مهر و موم خوب و قیمت پایین است، و نواقص آن این است که آن را به راحتی آسیب دیده است.

ضریب مقاومت مقاومت و مقاومت برخی از سیمهای مقاومتی که سیم خاردار را در بر میگیرند در جدول 4-1 نشان داده شده است که از آن جمله معمولا تنگستن، پلاتین و نیکل استفاده می شود. به منظور اطمینان از پایداری کار سیم داغ، علاوه بر تمیز کردن سطح سیم گرم، گاهی اوقات یک لایه نازک از شیشه، کوارتز یا تانتالم روی سطح سیم گرم استفاده می شود تا از اکسیداسیون یا آلودگی گرم سیم هنگامی که تحت فشار بالا استفاده می شود. اما اعتقاد بر این است که این روش باعث افزایش آن می شود.

فلز: تنگستن پلاتین نیکل کرومیوم ایریدیم مولیبدن آهن نقره مس

دما مقاومت

ضریب در 0 ℃ 4.82 3.9 6.0 2.5 4.1 4.71 6.0 4.3 4.29

( ^{-3 -3} ℃ ^-1 )

مقاومت در 0 ℃ 5.1 9.2-9.6 6.84 12.9 4.85 5.71 9.7 1.67 1.59

px10 ^-8 (Ω · m)

جدول 4-1 ضریب مقاومت مقاومت و مقاومت برخی فلزات