مطالعه بر روی یکنواختی TiN در پلی اتیلن با ورقه های فولادی ضد زنگ با چند ضخامت یون پوشش داده شده

مطالعه روی یکنواختی TiN روی ورق فولاد ضد زنگ با استفاده از کاشی های چند شاخه یونی

پوشش چندگانه یون یک فرایند پوشش برای پراش خوب است که می تواند برای تهیه فیلم های فلزی، فیلم های آلیاژ، فیلم های ترکیبی و فیلم های ساختاری چند لایه استفاده شود. با توجه به میزان بالای یونیزاسیون فلزات و انرژی بالا یون، این تکنولوژی می تواند یکنواختی و چسبندگی پوشش را بهبود بخشد و بهترین تکنولوژی برای رسوب فیلم تزئینی TiN است.

رسوب TiO چندگانه ای که در فرآیند شیمیایی فرآیند چندگانه یونی پخش می شود، که در همان زمان از تبخیر واردات تیتانیوم می تواند با نیتروژن تیتانیوم واکنش دهد، با تبخیر تیتانیوم مخلوط به پلاسما، تحت دمای پایین، واکنش بیوشیمی، رسوبات تشکیل شده در ترکیبات بستر بود.

با وجودی که خواص چند لایه یون دارای خاصیت پراکندگی می باشد و می تواند برای انواع دکوراسیون استفاده شود، پوشش TiN یکنواخت در ناحیه ای بزرگ از بستر فولاد ضد زنگ برای دکوراسیون معماری آسان نیست.

1. پیشنهاد مشکلات

برای به دست آوردن یکنواخت رضایت بخش، عرض عرضی هدف مورد نیاز است که بزرگتر از عرض بستر باشد و هدف یک کل پیوسته در جهت عرض از بستر است. و بسیاری از تجهیزات قوس الکتریکی هر قوس در فضای بین قوس و قوس قطع می شود فاصله زمانی خاص است، اگر سخت افزار بخش تنظیمات نادرست تجهیزات و یا پارامترهای فرایند انتخاب نامناسب نرم افزار تجهیزات، ممکن است که بستر در در مقابل قسمت قوس و قسمت بزرگتر تفاوت رنگ بین قوس و قوس، قوس در مقابل قسمت عمیق رنگ (یا نور)، بین قوس و بخش قوس کمرنگ یا عمیق است، عمق خطوط خمشی، معمولا به عنوان شناخته شده به عنوان "گورخر"، محصول از کاهش تزئینی، حتی معیوب.

در این مقاله مسئله یکنواختی ورق های فولادی ضد زنگ مورد بررسی قرار گرفته است

2. عوامل موثر بر سخت افزار

2.1 فاصله بین قوسها و زیربناها

فاصله بین قوس و بستر تأثیر زیادی بر یکنواختی پوشش یون پوشش دارد. فاصله پایه قوس بیش از حد کوچک است، تعداد برخورد ذرات قبل از رسیدن به بستر بسیار کوچک است، اثر پراکندگی ضعیف شده و یکنواختی پوشش کاهش می یابد. فاصله پایه قوس بیش از حد بزرگ است، نه تنها از بین بردن فضا، افزایش زمان اتلاف غیر ضروری، بلکه باعث می شود که ذرات به سمت سوبسترا برسند، زمانی که انرژی خیلی کوچک است، سختی و کاهش پوشش. نتایج نظری و تجربی نشان می دهد که یکنواختی ضخامت ضخامت مورد نظر را می توان در زمانی که فاصله پایه قوس بیش از 200 میلی متر است، بدست آورد.

2.2   قدرت میدان مغناطیسی

قدرت میدان مغناطیسی و پوشش رابطه ی به طور مساوی از نزدیک، به خوبی شناخته شده است که میدان مغناطیسی در منبع منبع قوس می تواند عملکرد قوس الکتریکی را بهبود بخشد، شارژ پلاسمای قوس را افزایش می دهد، تعداد الکترون ها و یون های انتشار کاد را افزایش می دهد ، تراکم پرتوها و جهت گیری را افزایش می دهد، محتوای میکرو قطره را کاهش می دهد، اما قدرت میدان مغناطیسی تا متوسط، بیش از حد می تواند غلظت ذرات، یکنواختی پوشش را کاهش دهد؛ خیلی ضعیف و راحت باعث خاموش شدن قوس می شود، نمی تواند به نقش قوس پایدار برسد.

آزمایشات نشان می دهد که حداکثر اجزای افقی ماده منبع در سطح مقاومت میدان مغناطیسی در 20 ~ 35 گرم بهترین است قبل از استفاده از تمام منبع منبع قوس بر روی سطح میدان مغناطیسی مورد نیاز برای استفاده از تنظیم یکپارچه گاس متر، به عنوان منبع مصرف مواد، منبع سطح مواد به علت فاصله از مغناطیسی کوچکتر و افزایش قدرت میدان مغناطیسی افزایش می یابد، بنابراین لازم است آن را به صورت دوره ای تنظیم با توجه به منبع مصرف مواد در سطح میدان مغناطیسی شدت، مورفولوژی سطح نقص منبع جدی مواد قابل بازیافت است.

3. عوامل تاثیرگذار بر نرم افزار

3.1 فشار گاز

در فرایند یون سازی، فشار گاز تاثیر زیادی بر یکنواختی پوشش دارد. به طور کلی، فشار گاز بالاتر است، بهتر است پراش یون و بهتر است یکنواختی پوشش. با این حال، فشار بیش از حد باعث کاهش انرژی ناشی از ذرات هنگام رسیدن به بستر می شود و بر میزان چسبندگی پوشش تاثیر می گذارد. آزمایشات نشان می دهد که فشار بخشی بهینه نیتروژن برای رسوب TiN در منطقه وسیعی از بستر فولاد ضد زنگ با استفاده از یون پوشش 3.0 * 10-1 ~ 1Pa است.

3.2 تعصب سوبسترا

در تنظیم منفی سوسپانسیون منفی می تواند سرعت ذرات حادثه را بهبود بخشد، سوبسترا برای به دست آوردن انرژی بزرگتر، در نتیجه افزایش استحکام چسبندگی بین پوشش و بستر، اما تعصب بیش از حد باعث می شود که ذرات پراکنده به زیر بست جذب، یکنواختی پوشش، رسوب گذاری یونی از فیلم TiN فیلم بین 50 تا 100 وات بهتر است.

3.3 مقدار جریان قوس

جریان قوس باعث انعکاس میزان تبخیر فیلم می شود. آزمایشات نشان می دهد که وقتی جریان قوس زمانی افزایش می یابد که یکنواختی پوشش کاهش یابد، این به دلیل انقباض ذرات پراکندگی در بستر و رسوب در رو به رو شدن از افزایش میزان منبع قوس است، اما از بهبود بهره وری تولید، امیدواریم که بیشتر جریان قوس، بهتر است، این به ما نیاز دارد که انتخاب مصالحه، علاوه بر زمینه منبع مواد مختلف دستگاه، انتخاب پارامترها متفاوت باشد؛ برای ماده منبع با قطر 65 میلیمتر قوس، جریان قوس باید بین 50 تا 100 عدد باشد.

3.4 دمای سوبسترا

دمای پایه بر اثر یکنواختی پوشش یونی پوشش، اصلی این است که رطوبت داخل کابین را از بین ببریم و چسبندگی پوشش را بهبود ببخشیم، رطوبت داخل کوره خلاء یک پوشش گورخر را به یک دلیل بسیار مهم به ویژه لایه هایی با تجهیزات محفظه ی خلاء آب سرد، رطوبت هوا در تابستان بزرگتر است، فشار در خلاء انجماد دیواره داخلی دیواره، تراکم آب به راحتی، این علت اصلی آب است، علاوه بر این، پس از تمیز کردن خشک شدن ناقص بستر نیز باعث می شود رطوبت به اتاق خلاء، آب گرم به بخار، در یک دست، آسان به ایجاد تخلیه بستر در بدن محفظه خلاء، سطح سوبستر Burns (از سوی دیگر، تحت عمل قوس الکتریکی، تجزیه اکسیژن، نیتروژن و اکسیژن با تیتانیوم واکنش سریعتر، آن را ناگزیر باعث تغییر ترکیب پوشش، منجر به رنگ پوشش ناهموار، دمای زیربخش باید بین 120 ℃ ~ 200 ℃ ، زیرا درجه حرارت بیش از حد بالا می تواند باعث دی از سوی دیگر، هنگامی که آسیب به محفظه خلاء خلاء آب خنک کننده و حفظ دمای داخلی، خلاء به میزان بسیار بالایی می تواند این حالت را بهبود بخشد، اختلالاتی را برای بارگیری و تخلیه سوبسترا کاهش می دهد.

4، Endnotes

برای به دست آوردن چسبندگی پوشش یونی یکنواخت N خوب، تنظیم دستگاه در مورد بخش سخت افزار و پارامترهای فرایند جایگزین نرم افزار تجهیزات بسیار مهم است، برای ساختار مختلف تجهیزات، عوامل مختلف باید در نظر گرفته جامع، یک تنظیم واحد از پارامترهای مختلف فرآیند، مطابق با شرایط فرایند بهینه تجهیزات خاص می باشد.

علاوه بر این، قطعه کار قبل از تمیز کاری و واکنش گاز خلوص بر روی یکنواختی پوشش نیز تاثیر بیشتر، به این دلیل که این دو جنبه به طور کلی می تواند توجه به اندازه کافی، و اثر تمیز کردن خوب (با استفاده از تجهیزات تمیز کردن اولتراسونیک) و نیتروژن خلوص نسبتا آسان، بنابراین در محدوده این مقاله نیست.

در نهایت، پارامترهای فرایند فرایند پوشش TiN که روی ورق فولاد ضد زنگ 3000mm * 1000mm قرار داده شده توسط تجهیزات چند منظوره یون سازی با قطر 1500mm و طول 3500mm و 24 منبع قوس برای بحث توسط همکاران ارائه شده است.

IKS PVD ، Multi-Arc ion Megnetron Sputtering سیستم پوشش، تماس با: iks.pvd@foxmail.com