علت عدم انطباق مگنترون پوشش پراکنده

مهم نیست که کدام دستگاه ماشین هزینه کج کردن، یکنواختی پوشش ها توسط یک عامل خاص تحت تاثیر قرار می گیرد.

عملیات دستگاه پوشش خلاء اسپری شدن مغناطیسی باعث می شود که الکترونها یونهای آرگون را که توسط گاز آرگون تشکیل شده اند، بمباران کنند و سپس هدف را با میدان مغناطیسی متعامد تحت حالت خلاء بمباران کنند و یون های هدف بر روی سطح قطعه کار قرار می گیرند به شکل پوشش. بنابراین ما می توانیم در نظر بگیریم که حالت خلاء، میدان مغناطیسی و آرگون سه جنبه ای است که مربوط به یکنواختی ضخامت فیلم می شود.

حالت خلاء توسط سیستم پمپاژ هوا کنترل می شود. هر پمپ پمپ باید در همان زمان تحت قدرت ثابت به طوری که یکنواخت پمپاژ می تواند اطمینان حاصل شود. اگر پمپاژ یکنواخت نیست، فشار در محفظه خلاء نمی تواند یکنواخت باشد، زیرا فشار تا حدودی بر حرکت یون ها اثر می گذارد. علاوه بر این، زمان پمپاژ باید کنترل شود. بیش از حد کوتاه باعث خلاء کافی خواهد شد، اما اگر آن را بیش از حد طولانی باشد، از بین خواهد رفت. اما وجود سنسورهای خلاء ضروری است.

میدان مغناطیسی به طور مرتب کار می کند، اما غیر ممکن است که شدت میدان مغناطیسی 100٪ برابر باشد. به طور کلی، میدان مغناطیسی قوی است، ضخامت فیلم بزرگ خواهد بود و بالعکس، بنابراین ضخامت فیلم خواهد بود متناقض است.

یکنواختی عرضه گاز آرگون بر یکنواختی لایه فیلم تاثیر می گذارد. این اصل شبیه درجه خلاء است. با توجه به ورود گاز آرگون، فشار در محفظه خلاء به ترتیب تغییر می کند. یکنواختی ضخامت فیلم را می توان با فشار یکنواخت کنترل کرد.

اگر چه همیشه عوامل متعددی وجود دارد که سبب ناهماهنگی فیلم می شود، اما اگر میزان کارایی دستگاه دستگاه خلاء بسیار بالا باشد، سرعت گذر فیلم بسیار زیاد است.