سیستم رانندگی و سیستم خنک کننده تجهیزات پوشش PVD
Mar 31, 2018| سیستم رانندگی
سیستم درایو اجازه می دهد تا بستر از قرار دادن بستر به دستگاه برای رسوب پاشش، به خروج از دستگاه پس از اتمام پردازش جریان. سیستم درایو شامل موتور رانندگی، چرخ اسکرول، مبدل فرکانس و غیره است. دلایل اضافه کردن سیستم درایو عبارتند از:
(1) اطمینان از اینکه پوششهای یکنواخت به طور گسترده ای توزیع می شوند.
(2) انتقال آسان اتوماتیک آسان است.
سیستم خنک کننده
سیستم خنک کننده عمدتا از پمپ مولکولی گردش خون هدف، محفظه، پمپ و جریان گردش آب موتور محرک تشکیل شده است. عملکرد اصلی آن خنک سازی محفظه خلاء، پمپ، درایو، منبع تغذیه و غیره است. الزامات آب خنک کننده عبارتند از:
(1) دما: 17 ~ 22 ° C؛
(2) فشار: 2 ~ 3e0.05Pa؛
(3) ذرات مغناطیسی باید از آب خارج شوند و آب باید نرم شود، pH = 6 ~ 8.
بعدی: مزایای پوشش های نانو پودر PVD
→
ارسال درخواست