نوع انتخاب واحد خلاء را انتخاب کنید

1. ترکیب و طبقه بندی واحد خلاء

واحد خلاء به طور کلی از اجزای زیر تشکیل شده است: پمپ های مختلف خلاء، دستگاه های اندازه گیری خلاء، شیرهای خلاء، لوله های خلاء و برخی از اجزای دیگر مانند دمنده، اتصالات خلاء، مخازن ذخیره سازی گاز، سیلندرها، گرد و غبار ها و رله های خلاء.

با توجه به فشار کاری واحد، دستگاه های خلاء خشن (1330 پالس)، واحدهای کم خلاء (1330 ~ 0.13 پ)، واحدهای خنک کننده (0.13 ~ 1.3x10-6Pa)، واحدهای فوق العاده باال (1.3x10-6 (~ 1.3 × 10-11 Pa) و واحد خلاء بسیار بالا (<1.2 ×="" 10-11="">

2. واحد خلاء کم

ویژگی های اصلی دستگاه خلاء کم فشار فشار بالا و جابه جایی بزرگ است، اما سرعت پمپاژ پایین تر از واحد خلاء بالا است. این عمدتا برای پمپاژ خشخاش محفظه خلاء و بعضی از واحدهای خلاء که نیاز به فشار کاری بالا مانند واحدهای تخلیه واحدی، واحدهای اشباع خلاء، واحدهای فیلتر خلاء، واحد های انجماد خلاء، واحدهای خشك كردن خلاء و غیره استفاده می شود. پمپ های اصلی واحد خلاء کم معمولا پمپ های خلاء، پمپ های خلاء روغن، پمپ های جت آب، پمپ های جت آب، پمپ های حلقه آب، پمپ های جت پمپ روغن، پمپ های جذب غربال مولکولی و پمپ های Roots هستند. هنگام استفاده از یک واحد کم خلاء، لازم است که اجزای مانند گرد و غبار و فیلتر خشک را با توجه به نیازهای فرایند درجه خلوص و رطوبت گاز قابل پمپاژ پیکربندی کنید.

3. واحد خلاء بالا

3.1 پمپ اصلی را انتخاب کنید. پمپ اصلی می تواند پمپ پخش، پمپ مولکولی، پمپ یون پاشش، پمپ تیتانیوم، پمپ فریزر و غیره باشد.

3.2 پمپ پشتی و لوله ذخیره گاز را انتخاب کنید (ضربه ای صاف، چرخه کار را کوتاه کنید، مقدار زیادی از خروجی در محفظه خلا را جلوگیری کنید و فشار خروجی پمپ پخش را تثبیت کنید)

4. واحد خلاء فوق العاده بالا

خلاء نهایی پمپ اصلی بالا است، نرخ نشت کم است و مقاوم در برابر پخت در دمای 200-450 درجه سانتی گراد است.

4.1 واحد پمپ نفوذ: کاهش برگشت و کنترل آلودگی.

4.2 واحد پمپ مولکولی: نسبت فشرده سازی به هیدروژن کوچک است و گاز باقی مانده عمدتا هیدروژن است.

4.3 واحد پمپ یون پمپ: معمولا در ترکیب با پمپ تیتانیوم استفاده می شود.

4.4 واحد پمپ فریزر: بدون آلودگی.