نوع معمول سیستم خلاء

سیستم مورد استفاده برای برآورده شدن نیازهای فرایند خاص، قادر به دستیابی و اندازه گیری خلاء خاص مورد نیاز سیستم خلاء نامیده می شود. یک سیستم خلاء کامل شامل اتاق خلاء، پمپ خلاء یا واحد خلاء، دستگاه اندازه گیری خلاء، لوله اتصال، شیر خلاء، دام و دیگر اجزای خلاء و سیستم کنترل الکتریکی است. سیستم خلاء معمول در شکل 1 و شکل 2 نشان داده شده است.

1. سوپاپ فشار واحدی 2. یونیزاسیون خلاء 3. ترموکوپل خلاء 4. شیر تنظیم شیر

5. شیر خلاء بالا 6. پمپ نفوذ 7. مخزن ذخیره سازی گاز

8. اندازه گیری ترموکوپل (اندازه گیری فشار پراکندگی پمپ قبل از مرحله) 9. سوپاپ سوپاپ 10. سنسور فشار

11. سوپاپ قبل از پمپ 12. پمپ خلاء ریشه 13. سوپاپ 14. شیر الکترومغناطیسی

15. پمپ مکانیکی خلاء

نمودار 1 نمودار خلاصه ای از یک سیستم خلاء معمولی

1. محفظه خلاء 2. یونیزاسیون خلاء 3. دستگاه اندازه گیری خلاء ترموکوپل 4. دریچه تخلیه

5. سوپاپ خلاء بالا 6. تله سرد 7. پمپ نفوذ 8. سوپاپ فشار 9. دریچه الکترومغناطیسی

10. پمپ مکانیکی خلاء 11 شیر قبل از پمپاژ

شکل 2 نمودار مختصات یک سیستم خلاء معمولی