عناصر تنظیم کننده جریان گاز خلاء

عناصر تنظیم کننده جریان گاز خلاء در اصل، تنظیم کننده خلاء دستی عمومی، با موتور کنترل مناسب (مانند موتور سروو، موتور پله و غیره) یا سیلندر هیدرولیک، با تنظیم سیگنال کنترل موتور کنترل یا سیلندر هیدرولیک، موتور کنترل یا حرکت سیلندر هیدرولیک، و تبدیل هدایت جریان دریچه خلاء، سپس جریان گاز را از طریق دریچه خلاء تغییر داد. , تکمیل درجه خلاء محفظه خلاء در دستگاه خلاء تنظیم خودکار. با این حال، در حال حاضر تنها سه نوع شیر کنترل جریان گاز خلاء وجود دارد که توسط تولیدکنندگان ابزار خلاء در چین تولید می شوند: دریچه کنترل جریان الکترومغناطیسی، دریچه جریان سنج جرمی و دریچه کنترل جریان پیزوالکتریک، و دستگاه های کنترل فشار داخلی بیشتر دریچه پیزوالکتریک را به عنوان عنصر کنترل جریان گاز خلاء انتخاب می کنند. شیر پیزوالکتریک یک دریچه کنترل جریان گاز خلاء است که از اثر پیزوالکتریک ساخته شده است. هسته دریچه پیزوالکتریک یک دیافراگم پیزوالکتریک است که از سرامیک های پیزوالکتریک ساخته شده است. هنگامی که یک ولتاژ کنترلی بر روی یک غشای سرامیکی پیزوالکتریک اعمال می شود، تغییر شکل متناسب با مقدار ولتاژ اعمال شده تولید می کند. در عین حال واشر را به حرکت در می آورم. سپس راهنمای جریان شیر پیزوالکتریک تغییر می کند و به این ترتیب جریان گاز را از طریق دریچه پیزوالکتریک تغییر می دهد. هنگامی که ولتاژ کنترل به دیافراگم سرامیک پیزوالکتریک اعمال نمی شود، نیروی مکانیکی ACTS فنر بر روی دیافراگم سرامیکی پیزوالکتریک و واشر آب بندی، به طوری که مسیر هوای دریچه پیزوالکتریک بسته می شود. به این ترتیب جریان گاز از طریق دریچه پیزوالکتریک می تواند با تغییر اندازه ولتاژ کنترل اعمال شده بر روی دیافراگم سرامیکی پیزوالکتریک تغییر کند. بدین ترتیب درجه خلاء در محفظه خلاء دستگاه خلاء قابل تنظیم است.

IKS PVD company,decorative coating machine,tools coating machine,optical coating mahcine,PVD vacuum coting line. اکنون با ما تماس بگیرید،ایمیل: iks.pvd@foxmail.com