مخزن هوا

مخزن هوا

گروه پمپ خلاء بالا پمپ انتشار کوچک معمولاً با یک مخزن گاز پیکربندی می شود که بین پمپ انتشار و پمپ جلو قرار می گیرد تا گاز تخلیه شده توسط پمپ انتشار را ذخیره کند. دلایل تنظیم مخزن گاز عبارتند از:
1) نیاز به حفاظت ضربه ای سیستم
هنگامی که سیستم خلاء کار می کند، برخی از فرآیندها به مقاومت در برابر ضربه شدید نیاز دارند، بنابراین پمپ خلاء مکانیکی قبلی باید برای مدت زمانی که محفظه خلاء در شرایط کار است کار خود را متوقف کند. در این مدت، گاز تخلیه شده توسط پمپ دیفیوژن همگی در مخزن گاز ذخیره می شود و از مخزن گاز برای جایگزینی پمپ مکانیکی استفاده می شود تا عملکرد طبیعی پمپ انتشار حفظ شود.
2) به منظور کوتاه کردن چرخه کار
برخی از فرآیندهای تولید مستلزم آن است که محفظه خلاء در ازای قطعات و شارژ بدون بستن بخاری پمپ انتشار در اتمسفر قرار گیرد. پمپ جلویی واحد خلاء به عنوان پمپ پیش پمپاژ استفاده می شود. پس از بارگذاری، محفظه خلاء با یک پمپ مکانیکی از قبل پمپ می شود و در این مدت از مخزن گاز برای نگهداری پمپ انتشار (به عنوان پمپ جلو) استفاده می شود.
3) به منظور جلوگیری از تأثیر زیاد تخلیه آنی گاز در محفظه خلاء بر عملکرد عادی پمپ انتشار
در تولید فرآیند خلاء، حجم اگزوز به ویژه در یک دوره زمانی خاص زیاد است، اما زمان کوتاه است. اگر در این زمان پیکربندی پمپ مکانیکی بر اساس حداکثر حجم اگزوز مقرون به صرفه نیست، مخزن ذخیره پیش مرحله را می توان در سیستم در این زمان پیکربندی کرد تا بخشی از گاز را در حداکثر حجم خروجی ذخیره کند تا از بروز این مشکل جلوگیری شود. فشار قبل از مرحله پمپ انتشار بیش از حداکثر فشار معکوس است.
4) برای تثبیت فشار خروجی پمپ انتشار استفاده می شود
از آنجایی که اگزوز پمپ خلاء مکانیکی پالسی است، اگرچه فرکانس آن زیاد نیست (معمولاً حدود 7 بار در ثانیه)، باعث ایجاد نوساناتی در فشار خروجی پمپ انتشار می شود و تنظیم مخزن گاز می تواند این موارد را کاهش دهد. نوسانات

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com