سیستم خلاء ترکیبی فوق العاده بالا، پمپ یونی Sputtering - مجموعه پمپ تصعید تیتانیوم
Sep 25, 2023| سیستم خلاء ترکیبی فوق العاده بالا، پمپ یونی Sputtering - مجموعه پمپ تصعید تیتانیوم
شکل 5-17 سیستم خلاء ترکیبی فوقالعاده بالا: 1- محفظه خلاء 2- شیر دروازه خلاء فوقالعاده بالا 3- پمپ یون پاشش - گروه پمپ تصعید تیتانیوم 4- Ultra -شیر دروازه خلاء بالا 5- دام سرد 6- پمپ انتشار 7- شیر خط لوله جلو 8- شیر خط لوله خلاء فوقالعاده بالا 9- شیر تخلیه 10- پمپ خلاء مکانیکی
شکل 5-17 نوع دیگری از سیستم خلاء فوقالعاده ترکیبی را نشان میدهد. این سیستم برای کوره های آب بندی خلاء، کوره های ورق تانتالیوم و سایر تجهیزات مناسب است. پمپ اصلی سیستم گروه پمپ یون کندوپاش-پمپ تصعید تیتانیوم است. حد خلاء محفظه خلاء می تواند به 5×{4}}پا برسد. این سیستم مجهز به واحدی متشکل از یک پمپ انتشار روغن و یک پمپ مکانیکی است که برای پمپاژ درشت و پیش پمپاژ به عنوان پمپ اصلی استفاده می شود و می تواند حجم زیادی را که در طول فرآیند آزاد می شود، پمپ کند.
شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com