سیستم خلاء بالا

سیستم خلاء بالا
سیستم خلاء بالا به طور گسترده استفاده می شود و محدوده فشار کاری آن به طور کلی 1.33×10-2 ~ 1.33×10-3Pa است. سیستم های پمپاژ رایج عبارتند از:
(1) سیستم خلاء پمپ مکانیکی سری پمپ های انتشار. همانطور که در شکل 5-2 نشان داده شده است، این سیستم می تواند خلاء 10-2 ~ 10-5Pa را بدست آورد، که عموماً در تجهیزات کاربردی با گازهای خروجی نسبتاً کوچک در حین کار استفاده می شود. این سیستم دارای مزایای ساختار ساده، عملکرد قابل اعتماد و هزینه کم است. نقطه ضعف آن این است که سیستم به آرامی شروع به کار می کند و زمان پیش کشیدن طولانی است. بخار روغن پمپ انتشار به راحتی به داخل محفظه خلاء جریان می یابد.
(2) پمپ تقویت کننده روغن سری پمپ انتشار و سپس سیستم خلاء پمپ مکانیکی سری. این سیستم زمان پیش از قرعه کشی کوتاهی دارد اما شروع کندی دارد.
(3) پمپ انتشار سری پمپ ریشه، و سپس سری پمپ مکانیکی سیستم خلاء. شروع آن کند است، اما زمان پیش پمپاژ کوتاه است.

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com