مجموعه پمپ خلاء فوق العاده بالا

مجموعه پمپ خلاء فوق العاده بالا
واحد خلاء فوق‌العاده بالا در محدوده فشار خلاء فوق‌العاده بالا 10-6 ~ 10-10Pa کار می‌کند، علاوه بر این نیاز به اینکه ماده محفظه خلاء دارای نرخ خروجی گاز بسیار پایین باشد، میزان نشت گاز بسیار کم است و می تواند در دمای بالای 200 تا 450 درجه مقاومت کند، الزامات مورد نیاز برای واحد نیز شامل موارد زیر است:
(1) درجه خلاء نهایی پمپ اصلی باید بالا باشد، حداقل 10-7 ~ 10-8Pa در بالا.
(2) پمپ اصلی دارای سرعت پمپاژ مشخصی در محدوده فشار کاری خلاء فوق العاده بالا است.
(3) پمپ اصلی واحد یا قسمت بالای ورودی هوای پمپ اصلی می تواند در برابر پخت دمای بالا 200 ~ 450 درجه مقاومت کند.
(4) فشار جزئی گاز جریان برگشتی (از جمله بخار مایع کار و گاز حل شده) به پمپ مستقل باید به اندازه کافی کم باشد.
(5) پمپ اصلی با گزینش پذیری قوی گاز پمپاژ شده باید مجهز به پمپ کمکی به اندازه کافی بزرگ باشد.
(6) لوله کشی، شیرها و سایر اجزای بالای درگاه ورودی پمپ اصلی واحد، انتخاب و آب بندی مواد باید به ویژه دقت شود. به طور کلی از فولاد ضد زنگ با نرخ خروجی گاز کم و ساختار آب بندی فلزی و مواد آب بندی استفاده می شود.

شرکت IKS PVD، دستگاه پوشش تزئینی، دستگاه پوشش ابزار، دستگاه پوشش DLC، دستگاه پوشش نوری، خط پوشش خلاء PVD، پروژه کلید در دسترس است. اکنون با ما تماس بگیرید، ایمیل: iks.pvd@foxmail.com