پارامترهای اصلی که بر اسپری شدن تاثیر می گذارد

1. آستانه آبیاری

حداقل مقدار انرژي یون های حادثه ای که برای تخلیه اتمهای هدف مورد نیاز است، مربوط به نوع یون های حادثه ای نیست، بلکه مربوط به هدف است. پس از آن که مقدار انرژی بیش از آستانه اسپری است، عملکرد اسپری شدن نسبت به مربع انرژی یونی قبل از 150 یوان به عنوان افزایش انرژی یونی متناسب است و عملکرد اسپری با انرژی یون در محدوده 150 تا 1 کیلووات متناسب است. در محدوده 1 کیلو ~ 10 کیلو، عملکرد اسپری تغییر می کند. هنگامی که انرژی دوباره افزایش یافت، عملکرد اسپری نشان دهنده روند نزولی بود. زیر آستانه های اسپری چندین بمباران شده با یون های حادثه مختلف است.

2. تولید اسپری

عملکرد اسپری به میانگین تعداد اتم ها در هر یون مثبت اشاره می کند که می تواند از هدف خارج شود، در حالی که یون های حادثه هدف آن را بمباران می کنند. عوامل تأثیرگذار به طور عمده عبارتند از:

◆ عملکرد اسپری نشان دهنده یک دوره زمانی مشخص با تغییر تعداد اتمی هدف است. با افزایش درجه پر شدن الکترون از پوسته d از اتم هدف، عملکرد اسپری افزایش می یابد (روند تقریبا تغییر می کند).

◆ اثر گونه های یونی حادثه بر عملکرد اسپری

عملکرد اسپری با افزایش تعداد اتمی حوادث به طور دوره ای افزایش می یابد.

عملکرد اسپری های نقره، مس و تانتالوم که مربوط به یون های مختلف اتفاقی 45Kev است.

◆ اثر زاویه برش یون در عملکرد اسپری

برای یون های هدف و حادثه، افزایش اسپکتروش به دلیل افزایش زاویه یون افزایش می یابد. هنگامی که زاویه به 70 تا 80 درجه می رسد، عملکرد اسپری بزرگتر می شود. ادامه افزایش زاویه بروز، عملکرد اسپری شدن به شدت کاهش می یابد، و عملکرد اسپری 0 در 900 درجه است.

◆ اثر دمای هدف بر عملکرد اسپری

به طور كلي در محدوده دمايي كه در آن عملكرد پاششي مي تواند به دقت مرتبط با انرژي تصعيد در نظر گرفته شود، عملكرد اسپري به سختي با دما تغيير مي كند. اگر دمای بیش از این محدوده باشد، عملکرد اسپری به سرعت در حال افزایش است.